乾蚀刻机(TE8500S).PDFVIP

下载本文档

53
0
约1.5千字
约 10页
2017-07-29 发布于江苏
举报
版权申诉

乾蚀刻机(TE8500S).PDF

1、本文档共10页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

乾蚀刻机(TE8500S)

乾蝕刻機乾蝕刻機(TE8500S)(TE8500S) 乾蝕刻機乾蝕刻機(TE8500S)(TE8500S) 本體本體細部電源Unit(附屬配件一) Pump電源Unit(附屬配件二) Ebara pump A30W(附屬配件三) Ebara pump A10S(附屬配件四) 使用氣體詳細表本體本體本體本體本體本體本體本體品名: 蝕刻機廠牌: 東京エしクトロン型號: TE85000S 本體寸法: W1200 x D2100 x H2100 (mm) 本體細部本體細部本體細部本體細部本體細部本體細部本體細部本體細部本體本體本體本體細部細部細部細部本體本體本體本體細部細部細部細部電源電源電源電源UUUnitUnitnitnit ((((附屬配件一附屬配件一附屬配件一附屬配件一)))) 電源電源電源電源UUUUnitnitnitnit ((((附屬配件一附屬配件一附屬配件一附屬配件一)))) 品名: 電源ラシク廠牌: 型號: 本體寸法: W650 x D800 x H1600 (mm) PumpPump電源PumpPump 電源電源電源Unit(Unit(附屬配件二Unit(Unit(附屬配件二附屬配件二附屬配件二)))) PumpPumpPumpPump 電源電源電源電源Unit(Unit(Unit(Unit(附屬配件二附屬配件二附屬配件二附屬配件二)))) 品名: ポンプ電源ュ=シト廠牌: SEIKO SEIKI 型號: MG-STPH751E-T6B 本體寸法: W650 x D1000 x H1650 (mm) PumpPump電源PumpPump 電源電源電源Unit(Unit(附屬配件二Unit(Unit(附屬配件二附屬配件二附屬配件二)))) PumpPumpPumpPump 電源電源電源電源Unit(Unit(Unit(Unit(附屬配件二附屬配件二附屬配件二附屬配件二)))) EbaraEbaraEbaraEbara pumppumppumppump A30W(A30W(附屬配件三A30W(A30W(附屬配件三附屬配件三附屬配件三)))) EbaraEbaraEbaraEbara pumppumppumppump A30W(A30W(A30W(A30W( 附屬配件三附屬配件三附屬配件三附屬配件三)))) 品名: Dry pump 廠牌: EBARA 型號: A30W 本體寸法: W400 x D1000 x H900 (mm) EbaraEbaraEbaraEbara pumppumppumppump A10S(A10S(附屬配件四A10S(A10S(附屬配件四附屬配件四附屬配件四)))) EbaraEbaraEbaraEbara pumppumppumppump A10S(A10S(A10S(A10S( 附屬配件四附屬配件四附屬配件四附屬配件四)))) 品名: Dry pump 廠牌: EBARA 型號: A10S 本體寸法: W400 x D1000 x H600 (mm) 使用氣體詳細表使用氣體詳細表使用氣體詳細表使用氣體詳細表使用氣體詳細表使用氣體詳細表使用氣體詳細表使用氣體詳細表