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真空冷喷涂系统说明 刘广剑 2006.05 目录 第1章 真空冷喷涂系统构成与主要参数 1 1.1 真空系统 1 1.1.1 真空泵 1 1.1.2 真空室 2 1.2 送气送粉系统 3 1.2.1 高压气路 3 1.2.2 送粉器 3 1.2.3 喷枪 3 1.2.4 基体固定 4 1.3 喷涂辅助与传感 5 1.3.1 基体运动控制-电机 5 1.3.2 压力传感-真空计 6 第2章 真空冷喷涂系统操作 7 2.1 准备工作 7 2.2 喷涂过程 7 2.2.1 开始 7 2.2.2 过程 7 2.2.3 结束 7 2.3 善后处理 7 2.4 异常处理 7 2.4.1 真空泵声音异常 7 2.4.2 真空室气压不够低 8 2.4.3 氦气流量异常下降 8 2.4.4 吹浮气流量异常 8 第3章 真空冷喷涂系统维护 9 3.1 氦气 9 3.2 真空泵换（加）油 9 3.3 喷嘴制作 10 3.4 系统密封 10 3.5 真空室清理 10 第4章 附录及其它 11 4.1 常用压力单位换算表 11 4.2 流量计流量换算 11 4.3 目前系统参数状态 13 4.4 其它 13 真空冷喷涂系统构成与主要参数 真空系统 真空泵 真空泵。西安，闫先生（技术办公室029 沈阳，刘厂长（电气技术）024销郭庆春024真空协会，办公技咸宁路东二环交界点西南。 旋片泵，2XT-70 图11 旋片泵 电磁阀，DDCY-80Q 机械增压泵，ZJP-300 图12 机械泵 ￥28800.00皮拉尼真空计测得极限真空，旋片泵2Pa，机械泵0.1Pa。 真空室 图13 真空室外形 图14 真空室内腔 冗余引线有编号，写于白色高温胶带。 送气送粉系统 高压气路 图15 高压气路 送粉器 图16 送粉罐 吹浮气喷嘴斜向下开口，向下吹气便于对流。距离送粉罐底部有3cm左右距离，减少粉末倒灌入吹浮气阻塞吹浮喷嘴的可能性。 喷枪 喷枪结构与定位，参见下图。喷嘴制作方法见3.3。 试验中的喷涂距离，通过喷嘴定位高度（目前72mm）调节实现。 图17 喷枪结构及定位 基体固定 坐标 图18 基体固定侧视图 图19基体固定顶视图 喷涂辅助与传感 基体运动控制-电机 电机及控制器型号，北京卓立汉光仪器有限公司 SC3。 图110 步进电机控制器 电机驱动程序参数设置。软件名称，Zolix Motion Manager 4。（所有的软件在电脑 \\licj002\备份软件 有备份） 下面是有关重装驱动程序之后的软件参数的设置，只作为参考。 Xaxis Yaxis Zaxis ObjectType 1 1 0 Unit 0 0 -1 motorAngle 0.9 0.9 -1 pitch 2 2 -1 Chuandong -1 -1 -1 XiFen 8 8 -1 MinDisplace .000625 .000625 -1 压力传感-真空计 目前采用的是硅压力传感器，测量绝对压力，型号VG-1，沈阳真研真空科技，吴春阳024 图111 真空计控制器 皮喇尼真空计（热传导真空压力计），ZR-3，成都滨江仪器厂 此种真空计最主要的特征为利用惠司同电桥精确测定温度变化。其主要构造分为两部份，即装于真空系统中的测压管及电源控制信号显示系统。测压管中具有一高电阻温度系数材料制成的灯丝，通常由铂铱合金制成。当灯丝通过电流而加热，温度维持在约100-125℃之间，灯丝的温度在不同压力下因热传导系数不同而有所变化，又灯丝温度和电组成比例，因此经由电阻之测量可得知，电阻的测量则可经由惠司同电桥得到精确的数值。经标准真空计校正后侧定误差约在正负1-2%之间。 不同气体种类的修正参数。 氣體 派藍尼真空計 熱電偶真空計 氮氣 1.0 1.0 空氣 1.0 1.0 氧氣 1.0 0.9 二氧化碳 1.0 1.0 氬氣 0.8 0.7 氫氣 1.2 1.8 氦氣 ---- 0.9 真空冷喷涂系统操作 安全与禁忌 不可先开机械泵，其启动气压应在10KPa或更低。 流量计不可承受高气压（2MPa），否则内部橡胶密封无法承受，需拆散重装。 磁力加热搅拌器可能漏电，小心电击。 步进电机控制器的REM按钮兼作急停按钮。 准备工作 照明灯、步进电机、磁力加热搅拌器、真空计、电机控制 电机运动、真空计示数 粉末、密封 流量计、气路阀门 冷却水 固定基体，定位时参考电机运动坐标系图19基体固定顶视图