数字集成电路测试系统的研制.PDFVIP

自动化与仪器仪表 数字集成电路测试系统的研制 杭州士兰电子有限公司（ ）楼冬明 陈 波 G# #! 摘 要：介绍了基于向量测试法的测试系统的原理、结构组成以及各功能模块的工作过程。本系 统是有关技术人员在总结多年的实际测试经验并参考国外同类测试系统的基础上开发成功的，生产 成本较低、性能可靠，是一种适合于国内半导体行业的实际生产情况的测试系统。 关键词：集成电路 测试系统 测试向量调制 精密测量单元（ ） 待测器件（ ） 时 8) %’ 序产生器（ ） 图形发生器（ ） ’B 8B 随着数字集成 电路 的应用 日趋广泛和 国家对半 块按照事先写好的测试程序语句，按一定顺序将测试 导体行业发展的支持，国内 ()*+ 数字集成 电路设计 向量从存储器中读出并送到向量调制模块。向量调制 能力得到了长足的发展。但是，由于一般 设计公司 模块对向量序列进行波形调制和 电压调制，最后送出 ,( 不会去考虑生产线设备的开发，而大多数加工厂没有 与待测 （ ）工作电压匹配的波形序列。同时测试 ,( %’ 系统研发能力，因而国内从事集成 电路后道加工的企 系统还监测 %’ 的输 出波形，通过 向量调制模块将 业所用的测试设备大部分是从国外引进的，这些设备 其转换成与测试系统工作 电平匹配的数字信号，测试 价格 昂贵，操作复杂，在一定程度上增加 了集成 电路 系统将回送的数字信号与预先设定的向量进行比较， 生产的成本。 并将 比较结果送给控制模块进行处理。测试系统原理 为 了摆脱集成 电路生产上设备购买的高成本投 如图 # 所示。 入，我们研制开发了集成 电路测试设备，取得 了一定 的成果，并在测试技术方面积累了丰富的经验。下面 时序产生 就研发成功的数字集成电路测试系统做一介绍。 测试程序 调整模块 存储器 ! 设计 目标 该数字测试系统主要为数字集成 电路测试提供 计 测试 一个硬件平台，适用于任何采用向量输入输出的测试 算 向量 向量调制 方法 。 目前研制成功的测试系统工作在 - )./ 的主 机 主控制模块 存储器 模块 %’ 频，主要参数指标如下： ·最高测试速率： # )./ 图 测试系统原理框 图 ·时序调整精度： # #01 ·测试向量最大深度： 2$ 34561 7 $ 89:; # 系统结构的实现 ·测试管脚数： （或 ） #! 8,= 2$ 8,= 7 ! %’ 该测试系统按硬件 电路功