基于碳纳米管的电子器件-UICEngineering.PDFVIP

第 卷 第 期 固体电子学研究与进展 $$ $ XU($$#0X($ 年 月 $$ 7 YVOV3Y{P k Y=IYVOO=/OOV 8|$#$$ 基于碳纳米管的电子器件! 杨 铮 施 毅 顾书林 沈 波 张 荣 郑有炓 南京大学物理系和固体微结构国家重点实验室 #$%’() 收稿 收改稿 $%’* #$%%$% 摘要 碳纳米管有着众多独特的性质 尤其是它的电学性质 近几年来 碳纳米管的研究已展示出了在纳米 + # , # 电子器件上的应用前景 即通过构建尺寸只有几十纳米甚至更小的基于碳纳米管的电子器件和连线 实现速度 # # 远快于而功耗远小于目前集成电路的碳纳米管集成电路 文中在讨论碳纳米管电学性质的基础上 主要介绍基 , # 于碳纳米管的结 场效应晶体管和单电子晶体管等必威体育精装版研究和进展 - , 关键词 碳纳米管 结 场效应晶体管 单电子晶体管 + . . . 中图分类号+ (12 文献标识码+ 文章编号+%4(1%’$$)$4%(%42 /0 3 ? 56789:;6:9=886@ABCD79:EDFGED@ H30I JKLMN OPQHR IS OKTURM OPV0 WX JP30I YXMN JPV0I HXTZXT # [\]^_‘a\b‘cdefghijhkl^‘icb^mn^oc_^‘c_gcdpcmiqp‘^‘\rij_ch‘_sj‘s_\h #$%’(# ) l^btibuvbiw\_hi‘g xyl + # z8@76D {|}~XM0|MX!T~LK|#|M$L%!}|X}ZRM|}$}XL}!RL LL’R|UU$R!LUL’!}R’|U ( }XL}!RL V%L}R#LM!X)L}!KL|!L)L}|U$L|}K|)LNR)LM}LL|}’KL}!KLKXL!K|!*R}L |MZ+TM’!RXM|UZL)R’LX+!LMX+M|MX#L!L}X}#|UUL}RM R,L’XTUZ~L#|ZL+}X# ’|}~XM M|MX!T~L|MZRM’X}X}|!LZRM!XRM!LN}|!LZ’R}’TR!!K|!*X}-+|}+|!L}|MZXM#T’KULX*L} ( # ZRR|!RXM !K|M !KXL L%R!RMN !XZ|$ QM !KR |L} !KL LUL’!}R’|U}XL}!RL X+’|}~XM #