硒化技术对！#$%薄膜表面形貌和晶相的影响！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’( ##5 ， ， ， FQ: 1’( 3Q 1 R8.+8ST ##5 （ ） ###,%)#L##5L’( # L’52,#) M*NM OKP/-*M /-3-*M !##5 *=9. 1 O=T? 1 /QD 1 硒化技术对 !#$%’ 薄膜表面形貌和晶相的影响! 李 健 朱 洁! （北京科技大学新金属材料国家重点实验室，北京 ###$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ $ ##( ’ ) 以共溅射法制备的*+,-. 预制膜为衬底材料，以硒粉为原料，尝试了几种特殊的硒化方案，包括单源硒化法、双 源硒化法、表面喷粉硒化法、分步硒化退火和同步硒化退火等 种具有代表性和创新性的方案，研究了硒源的摆放 ’ 方式、升温方法对薄膜质量的影响，比较了不同方法制备的 （ ）薄膜在形貌、成分、相结构等方面的异同 *+-./0 *-/ 1 系统地分析了硒化温度、退火温度和退火时间对*+-./0 薄膜成分的影响，研究了各元素的百分含量随硒化退火条 件的变化规律，为更准确地把握*-/ 薄膜的成分和相结构提供有益的借鉴1 关键词： 预置膜，共溅射，硒化， 膜 *+,-. *-/ ： ， ， ， ()!! $2# $’3 $’4 $# 件要求不严格等优点，更适合于大面积生产1 在 薄膜的制备过程中， 预置膜的质量 E 引 言 *-/ *+,-. 和后硒化条件对薄膜的属性具有重要的影响，一些 （ ）是具有黄铜矿结构的直接带隙半 文献曾介绍过预置膜成分、硒化温度、退火温度等条 *+-./0 *-/ 导体材料，具有超高的光吸收率1 *-/ 薄膜太阳电池 件对*-/ 薄膜质量的影响，在此以一种崭新的*+-. ［— ］ 是最具发展前景的太阳能电池之一 2 1 *-/ 电池 相为主相的预制膜作为衬底材料，尝试了几种特殊 之所以受到重视是由其优异的光伏特性决定的： ） 的硒化方法，其中单源硒化法，双源硒化法具有一定