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SU- 8 胶光刻工艺研究 - 光学精密工程
10 3 Vol. 10 No. 3
2 0 0 2 6 Optics and Precision Engineering Jun . 2002
10042 924X( 2002)032 02662 05
SU- 8
张立国, 陈 迪, 杨 帆, 李以贵
(上海交通大学微纳米科学技术研究院, 上海200030)
:SU- 8 SU- 8
SU - 8
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200Lm SU - 8
: 200Lm/ s, 1h 95b C ,( 400nm), 95b C 30min,PGMEA
20min,
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GBL(gamma- butyrolactone
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:20012 122 01;: 20022 042 09
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