PC树脂上沉积DLC薄膜耐磨性与透光性的研究 - 表面技术.PDF

第 卷 第 期 年 月 表面技术 暋 39 暋暋 4 暋暋2010 8 暋暋暋Vol.39暋No.4暋Au.2010 SURFACETECHNOLOGY g 暋暋暋暋1 崑 帇崑崑崑崑崑崑崑崑崑帇 崑 崑 试验研究 崑 帇崑崑崑崑崑崑崑崑崑帇 PC树脂上沉积DLC薄膜耐磨性与透光性的研究 , , , , , , 褚颖 成艳 郑玉峰 周艺 王彦波 熊晓玲 魏世成 ( , ) 北京大学 前沿交叉学科研究院 北京 100871 [ ] ( ) , ( ) ( ) 摘 要 采用等离子体增强化学气相沉积 技术 在聚碳酸酯 树脂片上沉积类金刚石 暋暋 暋 暋 PECVD PC DLC , 。 薄膜 以获得耐磨性和透光性良好的光学镜片 研究了薄膜的沉积工艺对 PC基体镀 DLC薄膜耐磨性和透光性 。 : , , , 的影响 结果表明 PC树脂片上沉积DLC薄膜后 耐磨性有极大的提高 摩擦系数降低了70%左右 显微硬度增 , 。 加了约30%且随着沉积时间增加而增加 但透光率由约90%降至80%~70% 薄膜样品的耐磨性和透光性与样 、 。 品的粗糙度 形貌及组成有关 [ ] ; ; ; ; 关键词 暋PC树脂 DLC薄膜 PECVD 耐磨性 透光性 [中图分类号] [文献标识码] [文章编号] ( ) TG174.42暋 暋 暋 A 暋 暋 暋 1001灢3660201004灢0001灢04 AbrasionResistanceandTransmittanceofDLCFilmsDeositedonPCResin p , , , , , , CHUYin CHENGYan ZHENGYu灢en ZHOUYiWANGYan灢bo XIONGXiao灢lin WEIShi灢chen g f g g g ( , , , ) Academ forAdvancedInterdiscilinar Studies Pekin Universit Beiin 100871 China y p y g y jg [ ] ( ) Abstract暋Diamo