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晶体硅正式概要1
能源形势紧张的今天,太阳能是注定要成为未来能源的主角之一,而作为太阳能应用的重要代表,晶体硅电池又会面临什么样的命运? 4.晶体硅电池的前景 优势: 太阳能应用,自身有资源丰富、清洁性以及安全性的特点。光伏发电站的建设相比其它能源电站,更有如下特点: 相对于水利、风电站,对建站地理位置要求低; 较之水电站,建立发电站所需的时间和成本较低;与风力发电相比,发电规律性强、可预测,调度容易。此外,光伏电站运行可靠、使用安全、维护成本低、使用寿命长。在商业化电池方面, 商业化晶体硅电池的效率达14% ~ 20% ( 单晶体硅电池16% ~20%,多晶体硅14% ~ 16%) 。另一方面,生产规模不断扩大和自动化程度持续提高是太阳能电池生产成本降低的重要方面; 对太阳能电池而言,生产规模扩大1 倍,生产成本将降低20%。此外,商业化电池硅片厚度持续降低。30 多年来,太阳能电池硅片厚度从20 世纪70 年代的450 ~500μm 降低到目前的180 ~ 280μm,降低一半以上,硅材料用量大大减少,对太阳能电池成本降低起到重要作用。因此,随着电池效率不断提高、生产规模的不断扩大、硅片厚度持续降低等光伏产业化技术的不断改进,光伏电池的生产成本还将持续下降。 国家对光伏产业实行补贴等扶持政策 挑战 在多晶硅电池生产过程中,都有不同程度的废水、废气甚至危险化学液体、气体产生。 发展的不确定性。主要表现在技术、经济、市场不确定性和商业模式、内部组织、经营策略等不确定性。这里需要着重指出的是光伏产业由于发电成本高,大约是传统火电上网电价的两到三倍,其市场扩张相当程度上依赖政府政策,特别是电价补贴政策。因此,就存在着包括市场在哪儿, 市场能有多大等的不确定性问题。 我国为发展并网光伏发电出台了一系列技术经济政策,但这些政策都只是针对并网光伏系统投资商的直接补贴,而对于支撑并网光伏发电市场发展的其他关键要素,如广大用户、电网企业、提供辅助服务者,则缺乏相关激励政策。 国内市场不稳定,光伏龙头企业之一的无锡尚德太阳能电力有限公司(以下简称无锡尚德)实施破产重整、美国纽交所对无锡尚德母公司——尚德电力控股有限公司(以下简称尚德电力)发出退市警告通知。 虽然晶体硅电池的发展面临重重挑战,但是太阳能的发展却是大势所趋。毫无疑问,晶体硅电池也将随之发展,而这项技术何时发展,是否井喷式的发展,就要看我们这批能源人的努力了。 谢 谢 敬请批评指正! 管内气体中杂质源的浓度 扩散温度 扩散时间 影响扩散的因素 管内气体中杂质源浓度的大小决定着硅片N型区域磷浓度的大小。但是沉积在硅片表面的杂质源达到一定程度时,将对N型区域的磷浓度改变影响不大。 扩散温度和扩散时间对扩散结深影响较大。 N型区域磷浓度和扩散结深共同决定着方块电阻的大小。 影响扩散的因素 1.三氯氧磷(POCl3)液态源扩散 2.喷涂磷酸水溶液后链式扩散 3.丝网印刷磷浆料后链式扩散 太阳电池磷扩散方法 POCl3磷扩散原理 POCl3在高温下(600℃)分解生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5),其反应式如下: 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应,生成二氧化硅(SiO2)和磷原子,其反应式如下: * POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体,具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67,熔点2℃,沸点107℃,在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发。 POCl3 简介 由上面反应式可以看出,POCl3热分解时,如果没有外来的氧(O2)参与其分解是不充分的,生成的PCl5是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下,PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2)其反应式如下: 生成的P2O5又进一步与硅作用,生成SiO2和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。 在有氧气的存在时,POCl3热分解的反应式为: POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面,P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子,并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散 。 POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高,得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点,这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。 目的: 经过扩散工艺后,晶片的边缘也会出现一层N型掺杂区,如果不去除,则会造成正面与背面电极的连通,必须将其去除,才能显现出P-N二极管的结构。 方法: 一般采用低温的干蚀刻技术(dry etching)。将晶片堆叠在一起(保证不会蚀刻到晶片的正面及背面),放入反应炉内,使
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