基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究.pdfVIP

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2017-07-09 发布于天津
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基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究.pdf

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第2l卷第8期传感技术学报 v01．21No．8 aI矾ESE ANDACnIAToRS 2008年8月 J顶瓜NAI，0FsEN90RS A-ug．2008 onSe璐itiVitiesofMicroc肌tileVerChemicalSe璐ors’ Study WANG Ai一7z口1 D口0如1，HUF矗挖g．-rD以91”，yA0，“咒1．，QJUCh懈行七日i1，WANG r 1．S纽抛K删工舶o，Micro如6一c口￡to，l口tldO≯疵s钕^tlofogy，hst讥“go，(枷如口谢日盯￡r雠￡cs， 1 CJlf艘靶A∞dmyo，i唧P，吼M鲥“610209，cIli嘲 theresonance shiftsofvariousconstructedbeamsinthe mode，the Abst翰ct：Toanalyze frequency dynamic finite has the element been thesoftwareIntelliSuite．Itshowsthat mostsensi— analysis perfomedbyusing tivestructureisthe cantileverbearn．Thus，adetailed onthe triangularshaped dynamicanalysistrianguIar beamis the betweenthe shiftandstructural is The presented，and giVen． relationship frequency parameters each of deflectionof cantileverbeamsinthestaticmode constant，whichdemonstratesthattheir type keeps static is ofthestructure on the sensitivityindependent shapes．!沁mesuggestionsoptimizingdesignpar锄一 etersformicro are trianglespresented． ofchemical microcantilever mode Keywords：sensitiVities beam；dynamicmode；static sensors；triangular EEACC：7230J；2575 基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究* 王大甲1，胡放荣1’2，姚军¨，邱传凯1，王爱娜1 ，1．中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，成都610209；、＼2．桂林电子科技大学电子工程学院。桂林541004 ，摘要：基于探测的原理，在动态模式下，首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析，结果表明三角形