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软X射线光学表面散射检测-物理实验杂志
第 卷 第 期 物 理 实 验 ｌ．３５ Ｎｏ．１ ３５ １ Ｖｏ 年 月 ＰＨ ， ＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ Ｊａｎ． ０ ０１５ １ １５ ２ ２ 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 软 射线光学表面散射检测 Ｘ 陈 ， ， ， 淑妍 康 崇 张 杨 邢 键 （ ， ） 哈尔滨工程大学 物理实验中心 黑龙江哈尔滨１５０００１ ： ， ， 摘 要 应用自行研制的软 射线反射率计 分别对不同的反射镜样品 在不同的工作波段以及掠射角下研究了软 Ｘ ： ， ， ， 射线波段掠入射光学表面的散射 实验结果表明 掠射角增加 波长减小 粗糙度增加 软 射线掠入射表面散射程度 Ｘ ． Ｘ 加重． ： ； ； ； 关键词 软 射线 表面散射 表面粗糙度 掠入射 Ｘ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ ４ Ａ １０ ３４．１ ０５ ０５ ４６ ００ ０５
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