ITO／Ag／ITO透明导电膜性能研究进展-山东建筑大学学报.PDF

第３０卷 第４期 山东 建 筑 大 学 学 报 Ｖｏｌ．３０ Ｎｏ．４ ２０１５年 ８月 　 　　　　　　　ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦＳＨＡＮＤＯＮＧ ＪＩＡＮＺＨＵ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ　　　　　　　 　 Ａｕｇ． ２０１５ 文章编号：１６７３－７６４４（２０１５）０４－０３７６－０６ ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ透明导电膜性能研究进展 １ １ ２ １ １ １ 王孝丽 ，牛玉超 ，肖辰 ，丁博森 ，刘相局 ，马晓宇 （１．山东建筑大学 材料科学与工程学院，山东 济南２５０１０１；２．寿光润城建材有限公司，山东 寿光２６２７００） 摘要：复合型透明导电膜ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ是一种极具发展潜力的高性能透明导电膜，其导电性远高于传统透明导 电材料氧化铟锡（ＩＴＯ），同时可大幅节约ＩＴＯ膜中的稀缺元素Ｉｎ。文章阐述了ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ复合膜的设计原理 及其设计中存在的问题，分析了ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ结构中底层ＩＴＯ膜、外层ＩＴＯ膜和Ａｇ膜在膜系结构中的作用及其 对ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ光学和电学性能的影响，阐明了Ａｇ膜对ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ光学和电学性能的决定性作用，综述了对 Ａｇ膜进行退火处理、添加其他金属元素、引入超薄层等提高Ａｇ膜沉积质量和性能的方法，展望了高性能ＩＴＯ／ Ａｇ／ＩＴＯ复合透明导电膜今后的研究方向。 关键词：透明导电膜；ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ；Ａｇ膜；导电性；透过率 中图分类号：ＴＢ４３　　　　　文献标识码：Ａ ＲｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｏｆｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｆｉｌｍｓ １ １ ２ ＷａｎｇＸｉａｏｌｉ，ＮｉｕＹｕｃｈａｏ ，ＸｉａｏＣｈｅｎ，ｅｔａｌ． （１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｄｏｎｇＪｉａｎｚｈｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｊｉｎａｎ２５０１０１，Ｃｈｉｎａ；２．Ｓｈｏｕｇｕａｎｇ ＲｕｎｃｈｅｎｇＢｕｉｌｄｉｎｇＭａｔｅｒｉａｌｓＣｏｍｐａｎｙ，Ｓｈｏｕｇｕａｎｇ２６２７００，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＩｎａｄｄｉｔｉｏｎｔｏｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔｌｙｓａｖｅｓｃａｒｃｅｅｌｅｍｅｎｔｉｎＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯｃｏｍｐｏｓｉｔｅｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｆｉｌｍｓａｒｅｍｕｃｈｂｅｔｔｅｒｔｈａｎｔｈｅｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌＩＴＯｆｉｌｍｓａｎｄＩＡＩｉｓｒｅｃｏｇｎｉｚｅｄａｓｈｉｇｈ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｆｉｌｍｓｏｆｇｒｅａｔｐｏｔｅｎｔｉａｌｆｏｒｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ．Ｔｈｉｓｐａｐｅｒａｎａｌｙｚｅｓｔｈｅ ｄｅｓｉｇｎｐｒｉｎｃｉｐｌｅ，ｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｓａｎｄｔｈｅｓｏｌｕｔｉｏｎｓｏｆＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯｆｉｌｍｓ，ｄｅｓｃｒｉｂｅｓｔｈｅｒｏｌｅｏｆｂｏｔｔｏｍ ＩＴＯｆｉｌｍ，ｏｕｔｅｒＩＴＯｆｉｌｍａｎｄＡｇｆｉｌｍｉｎＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｔｈｅｉｒｅｆｆｅｃｔｓｏｎｔｈｅｏｐｔｉｃａｌａｎｄ ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ，ｐｏｉｎｔｓｏｕｔｔｈｅｄｅｃｉｓｉｖｅｒｏｌｅｏｆＡｇｆｉｌｍ ｉｎＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ， ｏｖｅｒｖｉｅｗｓｔｈｅｍｅｔｈｏｄｓｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｑｕａｌｉｔｙａｎｄｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆＡｇｆｉｌｍ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇａｐｐｌｙｉｎｇ ａｎｎｅａｌｅｄ，ｍｉｘｉｎｇｏｔｈｅｒｍｅｔａｌｌｉｃｅｌｅｍｅｎｔｓ，ａｎｄａｄｄｉｎｇｕｌｔｒａｔｈｉｎｌａｙｅｒｓ．Ａｔｌａｓｔ，ｔｈｅｐｏｓｓｉｂｌｅｆｕｔｕｒｅ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎｓｏｆｔｈｅｈｉｇｈｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯｆｉｌ