有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共6页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
用于DMS微芯片塑性成型SU模具制作工艺优化陆振华
14 3 Vo.l14, No.3
2008 6 JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES Jun., 200 8
:1007 -4252 (2008 )03-0639 -06
PDMS SU-8
1, 2 1 1 1
陆振华 , 许宝建, 金庆辉, 赵建龙
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 上海, 200050;
2.中国科学院研究生院, 北 , 100039 )
:PDMS是制作微流控芯片的主要材料。 PDMS芯片制作的主要方法是模塑法, 模塑法要求有
良好的塑性成型模具。 SU-8 以其良好的微加工特性, 目前已广泛应用于微机械结构的制作, 也用
于 PDMS塑性成型的模具。本文根据模具的特殊性, 如平整、无裂纹、可多次使用等要求,研究了影
响 SU-8 模具结构与基底材料硅片的黏附性和形成裂纹的因素,优化了 SU-8微模具加工工艺,
2
在以 0.5℃/mn进行升降温、210 mJ/cm的曝光剂量、200℃条件下硬烘 30mn条件下得到较好的
SU-8 模具,提供了一种快速、复用性高、低成本的 PDMS微芯片塑性成型的 SU-8 模具的制作方
法。
:PDMS;塑性成型;SU-8 模具;黏附性
:TN305.7 :A
FabrcatonprocessoptmzatonofSU-8 moldforPDMS
mcrochpplastcmoldng
1, 2 1 1 1
LUZhen-hua, XUBao-jan, JINQng-hu, ZHAOJan-long
(1.ShanghaInsttuteofMcrosystemandInformatonTechnology, ChneseAcademyofScence,s
Shangha200050, Chna;2.GraduateSchooloftheChneseAcademy
ofScence,sBejng100039, Chna)
Abstrac:tPDMSsthemanmateralformanufacturngmcrofludcchp,sandthemostusedmethodfor
PDMSfabrcatonsplastcmoldng, whchrequresgoodplastcmold.SU-8 hasbeenwdelyappled
forMEMSfabrcatonandplastcmoldforPDMSbecauseoftsmcro-machnngcharacterstcs.Ac-
cordngtotherequrementsofmoldsuchasfla,tcrack-fre,eandreusabl,ethspaperstudyfactorsn-
fluencngthecohesonbetweenSU-8 moldstructureandslconsubstrateandcrack,soptmzngthe
fabrcatonprocessofSU-8, nthecondtonofheattreatmentattherateof0.5℃/mn, dosageat210
2
mJ/cm, andhardbakeat200℃ for30mn, provdngafas,treusabl,e lowcostSU-8 moldmanuf
文档评论（0）