玻璃相与陶瓷金属化技术.pdfVIP

· 陶 瓷 金 属 封 接 和 真 空 电 子 与 专 用 金 属 材 料 分 会 年 会 专 辑 · 玻璃相与陶瓷金属化技术 高陇桥 (北京真空 电子技术研究所 ，北京 100015) GlassPhaseandCeramicM etallizingTechnology GAo Long—qiao (BeijingVacuum ElectronicsInstituteResearch，Beijing100015，China) Abstract：Thedevelopmentofceramicmetallizingtechnologyandtheimportanceofglassphaseinmet— alliging compositionwerereviewed．Severalmetallizingmechanismswere discussed．Relationsbetween glassphaseofceramicandglassphaseofmetallizinglayerwereprovided． Keywords：Glassphase，Ceramicmetallizing，M echanism 摘要 ：本文叙述了陶瓷金属化技术 的发展过程和玻璃相在金属化技术 中的重要作用 。讨论 了几种主要金属化机理，提 出 了陶瓷中玻璃相和金属化层中玻璃相 的相互关系 。 关键词 ：玻璃相 ；陶瓷金属化 ；机理 中图分类号 TB756 文献标识码 ：A 文章编号：1002—89352【013)04—0O79—05 玻璃相在陶瓷金属化技术 中涉及到封接机理问 好的流动性和尽可能小的粘度温度系数的 “性长”特 题 ，对产品的产业化 、成品率以及其质量和可靠性等 性 。 都至关重要。在整个陶瓷金属化过程中显得十分复 (5)玻璃相本身机械强度高 ，通常 MgO玻璃抗 杂 ，对金属化工艺有着密切关系。对玻璃相 的基本 压强度高而 CaO玻璃抗拉强度高。 性能要求是 ： 应该指 出：陶瓷中玻璃相的组成是随着陶瓷烧 (1)适当的膨胀系数 ，最好 的匹配是玻璃相和 成温度的高低而变化 的，金属化层中活化剂形成的 Mo、a—Al。O。晶体 的膨胀系数较为接近。目前金属 玻璃相也在金属化烧结温度下与陶瓷中玻璃相相互 化配方是 向Mo粉高含量发展，因而可 以简 明地表 作用和迁移而使组成发生变化 。因而整个玻璃相无 达为 a瓷≥aM。≥a玻。 论在陶瓷烧成和金属化过程中，组成都在发生变化 ， (2)良好的浸润性 ，这是金属化烧结过程 中玻璃 从而显得十分复杂。 相对 Mo和 a—Al()3晶体烧结成真空致密体所必需 1 实验 的。一般要求 0445。。 1．1 玻璃相组成在金属化过程中不均匀迁移 (3)较大的表面张力，在双毛细管模型玻璃相迁 陶瓷样 品应用北京真空 电子技术研究所 (12 移过程 中，大数值的表面张力对玻璃相 的迁移是有 所)研制的95 Al。O。瓷 ，其组成见表 1[1]。 利的。 试验用金属化配方为 12所研制的 9号 、2号配 (4)在金属化烧结的条件下，有较低 的粘度 ，很 方，其组成见表 2、表 3[2]。