清洁、节能、低运行成本的新一代高真空抽气机组.pdfVIP

嚣show展示71一- 清洁、节能、低运行成本的 新一代高真空抽气机组 ◎文 ／储继国 高真空抽气机组简介 ZJ一600罗茨泵 +液氮冷阱，世界上首次攻克重离子加速 目前，国内外大型高真空设备普遍采用抽速几万升每 器大流量差分系统的油蒸汽污染难题，显著提高加速器的 秒的大型扩散泵和几百至几千升每秒 的大型罗茨泵机组抽 分析精度，节省设备费用5万元，节省抽气能耗90％，为 气，能耗高，油蒸汽污染严重，是 目前真空产业中亟待解决， 我 国加速器领域赶超国际先进水平作出了重要贡献。 但一直未能攻克的一大难题。 2．2007年 ，中科院等离子体物理研究所将 MB200D 最近，深圳大学储继国教授与深圳市摩尔真空技术有 分子增压泵用于人造小太阳试验装置。抽气流量、运行可 限公司合作研制了 “分子增压泵 +电弧钛泵高真空抽气机 靠性等主要技术指标明显超过该研究所在用的进 口和国产 组”。成功地克服了现有抽气泵能耗高、油蒸汽污染严重 分子泵和罗茨泵。 的问题。 3．深圳市力合薄膜科技有限公司、深圳振恒昌实业 公司、恒基镀膜 (深圳 )有限公司 (港资 )、浙江英洛华 磁业有限公司、上海祥麟 电光有限公司 (台资)、浙江花 园生物高科股份有限公司、东海太平洋石英制品有限公司 等企业采用MB200D分子增压泵机组后，均显著提高了产 品质量，消除了油蒸汽污染、节约了设备费用，节能效果 分子增压泵 +电弧钛泵机组 的外形图 MB2OOD分子增压泵 十分显著。 这种新型抽气机组包括二种新型的真空泵 ：其一为分 4．2008年 。美 国VARIAN公司 对分子增压泵进行 子增压泵，该泵兼有 中、高真空双重性能，在 10一～1Pa 全面测试 ，给予 DEEPIMPRESSION的高度赞誉。 范 围，抽速达到最大值 ，10～～10Pa中真空范 围，抽 气能力已经超过罗茨泵 ，并且能耗低 ，仅 为罗茨泵 的 5～10％，无油蒸汽污染。然而，分子增压泵的高真空抽 速与分子泵类似 ，通常不超过 4，000Us，与抽速几万升每 传统分子泵的涡轮转子 分子增压泵的转子 秒的扩散泵相 比，仍有较大的差距。其二为电弧钛泵，该 泵的高真空抽速可达几十万升每秒，超过扩散泵的水平 ， 推广前景 也无油蒸汽污染 ，在 ≤ 1X1OI。Pa时，能耗和运行费用不 新机组的主要优点如下： 到扩散泵的 1门0。然而 ，该泵在 1×10 Pa压强范围 能耗低。抽气能耗节省 75％～90％，每台设备节 运行 ，能耗和运行成本大幅度增加，与扩散泵相比，无竞 电20～30万度 ／年，仅珠三角地 区的大型蒸发镀膜领 争优势。分子增压泵和电弧钛泵组合，优势互补，可组成 域推广应用，年节 电可达 3亿度 ；运行费用低 ，4～6万 高性能的真空抽气机组。 目前，采用 2台MB200D分子 元 ／年 (真空度越高，费用越低 )，约为扩散泵机组 的 增压泵+1台 100电弧钛泵的机组，在 1X1Cr2和 1×1 Pa 20％一50％；设备费用不高于 12万元 ／套 ，约为扩散泵 的抽速分别达到 了 10，000和 26，000L／s，分别超过 了带 机组的 1．5～2倍 ；资金 回收快 ，运行 3～12个月可收回 档油阱的KT一600和 KT一800扩散泵的水平，节省能耗 增加的设备费用；设备简单，易量产，易推广；有自主知 70％～85％，降低抽气成本