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用于激光相控阵的阵列相位调制器研究 - 北京工业大学学报
第40卷第5期 北京工业大学学报 V01.40NO.5 OF UNIVERSITYOFTECHNOLOGY 2014 2014年5月 JOURNALBEIJING May 用于激光相控阵的阵列相位调制器研究 杨登才1,-,王大勇1”,杨作运17,王云新1一,戎 路1’2,赵 洁1’2 (1.北京工业大学微纳信息光子技术研究所,北京100124;2.北京工业大学应用数理学院,北京100124) 摘要:分析了相位调制器在激光相控阵中的重要性,提出了阵列相位调制器的设计思想.对退火质子交换 (annealed 和模场分布,优化设计了级联Y分支波导结构,实现了光功率的高均匀输出.基于铌酸锂晶体的电光效应,对影响 半波电压的因素进行了分析,设计了长电极结构,理论上得到了低半波电压.基于退火质子交换工艺制作了阵列相 位调制器,并对器件的光学特性和电学特性进行了实验测试,测得器件的插入损耗为6.83dB,光功率输出均匀性 为0.23dB,4路半波电压分别为2.1、3.4、2.0、2.1V,结果表明:该器件的制作有助于激光相控阵的集成化. 关键词:阵列相位调制器;退火质子交换波导;Y分支;半波电压 308 中图分类号:U461;TP 文献标志码:A Basedon PhaseModulator Arrayed YANG Jiel’2 Zuo.yunl’2,WANGYun—xinl,2,RONGLul’2,ZHAO Deng—cail’2,WANGDa.yon91,2,YANG ofInformationPhotonics of (1.Institute 100124,China; Technology,BeijingUniversityTechnology,Beijing of 1 1 of 00 2.Collage Science,BeijingUniversityTechnology,Beijing24,China) Applied modulatoris inlaser modulatorbasedOil Abstract:The phase importantphasedarray.Thearrayedphase is index inannealed optical profile waveguide waveguideproposed.The is beam of studied andsimulated theoretically by propagationmethod(BPM).Highuniformityoutput
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