DRF-95C3单晶炉-1F单晶炉配件.docVIP

通图机电 TDR-TT-105V1单晶炉控制系统 [使用说明书] 版本更新将不进行通知仅供参考 [2012-12-15] [江苏常州通图机电科技有限公司技术部] 版本号：V1.0 目 录 一、系统硬件操作说明 - 3 - 1、系统原理图 - 3 - 2、面板按钮操作 - 3 - 3、手操器操作 - 5 - 二、软件程序操作说明 - 6 - 1、登录 - 6 - 2、运行画面 - 6 - 3、配方数据 - 16 - 4、运行参数 - 19 - 5、报警记录 - 25 - 6、调试诊断 - 27 - 7、系统设置 - 28 - 8、数据查询 - 30 - 9、查看曲线 - 32 - 10、退出系统 - 32 - 11、用户操作权限表 - 32 - 三、常见故障分析及紧急情况处理 - 33 - 1、常见故障分析表 - 33 - 2、紧急情况处理 - 33 - 一、系统硬件操作说明 1、系统原理图 1）主要回路硬件表 序号 回路说明 空气开关 接触器/继电器 热继电器 1 主室真空泵回路 QF0 KM1 FR1 2 副室真空泵回路 FR2 3 炉筒升降电机回路 FR3 4 炉筒旋转电机回路 FR4 5 炉盖升降电机回路 FR5 6 炉盖旋转电机回路 FR6 7 翻板阀旋转电机回路 FR7 8 操作柜电源回路 无 无 9 中间柜电源回路 无 无 10 控制柜电源回路 无 无 11 电动球阀电源回路 无 无 12 晶转驱动器回路 无 13 埚转驱动器回路 无 14 晶埚快速电源回路 无 15 晶埚慢速电源回路 无 2、面板按钮操作 1）控制柜面板按钮 序号 名称 功能 操作方式 1 晶埚电源指示 晶转驱动器、 埚转驱动器、 晶升驱动器及 埚升驱动器总电源指示。 指示灯，无需操作。 2 副室泵启停 在触摸屏死机等屏上无法启动副室泵的情况下，手动启动副室泵。 将此选择开关由“自动”切换到“手动”，副室泵启动。 3 主室泵启停 在触摸屏死机等屏上无法启动主室泵的情况下，手动启动主室泵。 将此选择开关由“自动”切换到“手动”，主室泵启动。 4 PLC控制器复位 用于PLC主机死机时的复位。 按下按钮后松开，PLC主机自动复位。 2）操作柜面板按钮 序号 按钮名称 功能 操作方式 1 炉盖左旋 左旋炉盖 满足当前动作条件后，按下按钮，炉盖开始左旋，松开按钮，炉盖停止左旋，到达限位开关后，旋转自动停止，按下按钮无效。 2 炉盖右旋 右旋炉盖 满足当前动作条件后，按下按钮，炉盖开始右旋，松开按钮，炉盖停止右旋，到达限位开关后，旋转自动停止，按下按钮无效。 3 炉盖上升 升炉盖 满足当前动作条件后，按下按钮，炉盖开始上升，松开按钮，炉盖停止上升，到达限位开关后，上升自动停止，按下按钮无效。 4 炉盖下降 降炉盖 满足当前动作条件后，按下按钮，炉盖开始下降，松开按钮，炉盖停止下降，炉盖完全密合后，松开按钮。 5 炉筒左旋 左旋炉筒 满足当前动作条件后，按下按钮，炉筒开始左旋，松开按钮，炉筒停止左旋，到达限位开关后，旋转自动停止，按下按钮无效。 6 炉筒右旋 右旋炉筒 满足当前动作条件后，按下按钮，炉盖开始右旋，松开按钮，炉盖停止右旋，到达限位开关后，旋转自动停止，按下按钮无效。 7 炉筒上升 升炉筒 满足当前动作条件后，按下按钮，炉筒开始上升，松开按钮，炉筒停止上升，到达限位开关后，上升自动停止，按下按钮无效。 8 炉筒下降 降炉筒 满足当前动作条件后，按下按钮，炉筒开始下降，松开按钮，炉筒停止下降，下降到最低点后，松开按钮。 9 翻板阀开 打开翻板阀 满足当前动作条件后，按下按钮，翻板阀向上运动打开，松开按钮，翻板阀停止动作，到达限位开关后，打开动作停止，按下按钮无效。 10 翻板阀关 关闭翻板阀 满足当前动作条件后，按下按钮，翻板阀向下运动关闭，松开按钮，翻板阀停止动作，到达限位开关后，关闭动作停止，按下按钮无效。 11 功率柜故障复位 功率柜出现故障及时复位（可选） 在功率柜出现故障，触发板自锁后，按下按钮3秒后松开，功率柜自动复位（前提是故障已经排除且功率柜有复位功能）。 12 CCD控制器电源复位 CCD控制器断电复位 CCD控制器需要断电复位时，按下此按钮即可。 13 手动/自动 手动/自动切换 用于拉晶工艺操作的选择，旋动选择开关，选择手动或自动方式。 14 急停 紧急停止四轴运动，防止电机飞车 当晶升电机，埚升电机，晶转电机，埚转电机其中之一出现飞车，按下急停按钮则切断了驱动器电源，降低电机飞车带来的损失。 3、手操器操作 序号 部件名称 功能 操作方式 1 数显表 显示当前籽晶上升的电压给定