铌粉粒度和烧结方法对钼铌合金的影响.pdfVIP

第 34卷第 4期 粉末冶金技术 Vo1．34，No．4 2016年 8月 PowderM etallurgyTechnology Aug．2016 铌粉粒度和烧结方法对钼铌合金的影响 党晓明 安 耿 李 晶 刘仁智 (金堆城钼业股份有限公司技术中心，陕西，西安 710077) 摘 要： 为了提高钼铌合金的性能，本文采用不同球磨时间球磨的铌粉和高纯细粒度钼粉进行混合 ，通过 冷等静压 (CIP)在 200MPa下进行压制后 ，用 中频炉和真空炉在 1950~C温度下烧结 5h。结果表明，铌粉球磨 时间在25h时，烧结密度最高，烧结断 口孔隙最少，且在真空炉烧结后，氧含量显著降低。 关键词：铌粉；烧结 ；钼铌合金；密度；氧含量 Effectofniobium powdergranularityandsinteringmethod onM o-Nballoy DangXiaoming AnGeng LiJing Liurenzhi (TechniquecenterofJinduiehengCo．Ltd，Shaanxi，Xi’an，710077) Abstract：The niobium powderby ball—milling with differenttimeand highlypurified molybdenum powderwere mixed，themixtureswerecompactedbythemethodofcoldisostaticpressing(CIP)atapressureof200MPaand weresinteredat1950~C for5h inmedium ~equencyfurnaceandvacuum furnace．Theresultsshow thatwhenthe ball—millingtimeofniobium powderis25h，thesintereddensityisthehighest，theporesofsinteringfracturearethe leastandoxygencontentissignificantlyreducedaftersinteringinvacuum furnace． Keywords：niobium powder；sinter；Mo-Nballoy；density；oxygencontent 在 当今 日益繁荣的电子市场及信息爆炸的环境 配线材料，其性能引人注 目。随着市场的发展，对薄 下，电子薄膜是微电子学、光电子学、磁 电子学、传感 膜的质量要求也越高。薄膜的质量与靶材的质量密 器、太阳能利用等新兴学科的基础，是多种高科技的 不可分，其中对靶材品质要求很高的电子及信息产 重要组成部分。溅射是制备薄膜材料的主要技术之 业 中如集成 电路 、液 晶显示屏对靶材 的纯度、致密 一 ， 且具有 “高速”和 “低温”两大特征 。溅射靶材主 度、晶粒度大小及组织均匀性都有严格的要求 。 要应用于电子部件和电子产品，如集成电路、信息存 由于纯钼靶材溅射出的薄膜其耐腐蚀性 (变色)和 储 、TFT-LCD液 晶显示屏 、薄膜太阳能电池、激光存 密着性 (膜的剥离)等方面存在一些问题 ，大量研究 储器、无机光发射二极管显示器 、场发射显示器 、半 表明，在钼中加入钨、钒 、铌、钽等金属可使其 比阻 导体装置以及具有可调谐功函数 CMOS(互补金属 抗 、应力 、耐腐蚀性等各种性能达到均衡 。 氧化物半导体)的场效应晶体管栅极等，还可应用 因此，本文主要研究钼铌合金的制备及其各工 于玻