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32 工具技术 负载率对多层复合化学涂层工艺稳定性影响的研究 薛峰，吴春涛，周应涛，彭前飞 成都工具研究所有限公司 摘要：从改变负载率人手，借助球痕仪、扫描电子显微镜、x射线衍射仪、EDX等先进检测设备，研究多层复合 化学涂层工艺的稳定性问题：结果表明，负载率不可能超过50％，大多看似不同的装载量，单层负载率较高，其实 总负载率约为10％一20％，对涂层工艺的稳定性影响较小，产品性能总体稳定，总负载率大于20％以上的稳定性 情况还有待进一步验证： 关键词：负载率；多层复合；稳定性 中图分类号：TGl74．4；THl40．7 文献标志码：A onEffectof Rateon of Chemical Study Loading StabilityMultilayerCompositeCoating Xue Chuntao，ZhouYingtao，PengQianfei Feng，Wu this the ofload theaidofball electron Abstract：In change rate，with mark，scanningmicroscopy，X—ray paper，from andotheradvanced of onchemical is diffraction，EDX stabilitymuhilayercompositecoatings process testingequipment，the resultshowsthattheloadratecannotexceed ofthe different load studied．The 50％，most seemingly loadingcapacity，single rate thetotalloadrateofabout influenceonthe ofthe ishigher．but 10％一20％．1ess stabilitycoatingprocess，theproduct than is situationofthetotalloadrate thanthe ofmore 20％remains generallystable，the beinggreater stability performance tobe verified． rate；muhilayercomposite；stability Keywords：load 1 引言 2试验过程 化学气相沉积(CVD)通过控制反应温度、反应 2．1 试验条件 源气体组成、浓度、压力等参数，能方便地控制薄膜 采用瑞士进口化学气相沉积设备，程序化控制 的组成机构和成分，改变其力学性能和化学性能，并 工艺，涂层结构为含基础氮化钛、碳化钛、碳氮化钛、 且沉积产物也从单质状态发展到化合物再到复合多 氧化铝的多层复合化学涂层结构，检i910设备包括球 层化合物，满足不同条件下对工件使用性能的需 痕仪、纳米压痕仪、x射线衍射仪、扫描电子显微镜 求