柔性凹微透镜阵列的制作、测试与形变分析 - 南昌航空大学期刊网.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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柔性凹微透镜阵列的制作、测试与形变分析 - 南昌航空大学期刊网

( ) 2012 12 南昌航空大学学报自然科学版 Dec ． 2012 年月 26 4 Vol． 26 ． NO． 4 31 第卷第期 JOURNAL OF NANCHANG HANGKONG UNIVERSITY (NATURAL SCIENCES) 、柔性凹微透镜阵列的制作测试与形变分析李凤1 ，2 高益庆1 ，2 钟可君1 ，2 (1．， 210016 ;2 ．， 330063) 南京航空航天大学江苏南京南昌航空大学江西南昌［］， 3 m ， 25 m ， 64 ． 05 m 。摘要使用弹性膜软光刻方法制作了冠深为 μ 底面直径为 μ 焦长约 μ 的柔性凹微透镜阵本文给出了，、、，制作柔性凹微透镜阵列的详细工艺流程并使用金相显微镜台阶仪三维显微成像系统等分别对凹微透镜阵列的三维形貌。，。光学性质进行了测试测试结果表明凹微透镜阵列三维形貌清晰光学性质良好本文也使用有限元分析方法对施加分布。，，载荷的柔性微透镜阵列的形变作了分析分析结果表明载荷的增加使得曲面微透镜阵列的形变增加阵列的曲率半径减，。小阵列两端的形变程度要高于阵列中部的形变程度［］ ; ; 关键词微透镜阵列软光刻形变［］O435 ． 1 ［］A ［］1001 － 4926 (2012)04 － 0031 － 05 中图分类号文献标志码文章编号 Analysis of Fabrication ，Testing and Deformation of Soft Concave Microlens Array LI Feng 1，2 GAO Yi － qing 1，2 ZHONG Ke － jun 1，2 (1． Nanj ing University of Aeronautics and Astronautics ，Nanj ing ，Jiangsu 210016 ，China ; 2． Nanchang Hangkong University ，Nanchang ，Jiangxi 330063 ，China) Abstract :Soft concave microlens array is fabricated with sof