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基于静电驱动的微细电解加工技术.pdf
设计·研究 《 电加工与模具》2017 年增刊 1
基于静电驱动的微细电解加工技术
赵呈路，黄瑞宁，王琨宁，李 兴
（ 哈尔滨工业大学（深圳）机电工程与自动化学院，深圳生物医学
智能超声成像技术工程实验室，广东深圳 518055 ）
摘要：利用电容两极板间的静电力可促使两极板相互靠近的特点，提出了基于静电驱动的微
细电解加工技术，并设计了静电驱动微细电解加工装置。 分析了电解液浓度和电源频率对加工间
隙的影响，并进行了二维结构、阵列柱状结构的静电驱动电解加工实验。 结果表明：采用静电驱动
技术实现电极的微进给，能使加工间隙达到微细电解加工的要求；通过控制电源的脉宽和频率，能
实现自适应电解加工的目的。
关键词：静电驱动；电解加工；弱电解质；平面电极
中图分类号： 文献标识 ： 文章编号： （ ）
TG662 A 1009-279X 2017 S1-0037-04
The Micro Electrochemical Machining Technology Based on Electrostatic Actuator
， ， ，
ZHAO Chenglu HUANG Ruining WANG Kunning LI Xing
（ ， ，
1. School of Mechanical Engineering and Automation Harbin Institute of Technology (Shenzhen)
Shenzhen Laboratory of Biomedical Intelligent Ultrasound Imaging Technology Engineering ，
， ）
Shenzhen 518055 China
：
Abstract Based on the electrostatic force between the two plates of the capacitor can be used to
，
make the two plates close to each other research the electrostatic electrolysis processing and design the
electrostatic electrolytic processing device. The effects of electrolyte concentration and power frequency
on the gap achieved by processing were analyzed. Two -dimensional structure and array columnar
experiment was carried out by electrostatic driving electrolysis. The experiment
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