二维二硫化钼材料制备及表征研究.pdfVIP

第41卷第2期 中国钼业 V01．41No．2 CHINAMOLYBDENUM 2017年4月 INDUsTRY 2叭7 Apr 二维二硫化钼材料制备及表征研究 崔玉青，席 莎，唐军利，何凯，朱琦，周新文 (金堆城钼业股份有限公司，陕西西安710077) 摘要：本文采用硫粉和三氧化钼为原料，通过化学气相沉积法在s∥siO：基片表面沉积二硫化钼薄膜，通过大量试 验证明：将基片进行硫化预处理后，在一定的温度和Ar气流量下，即可制备出三角形貌的二硫化钼薄膜。最后采 用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱分析对所制备的二硫化钼产品进行表征研究。结果表明：该方法制备得到的 产品为二维二硫化钼，晶体形貌为三角形，其厚度小于5nm，部分可达到1nm，拉曼光谱进一步验证产品的层数范 围。而xPs检测分析确认cVD沉积所得薄膜为二硫化钼。 关键词：二维；二硫化钼；表征；分析 DoI：10．13384／j．cnki．cmi．1006—2602．2017。02．007 111．34 中图分类号：TF 文献标识码：A 文章编号：1006—2602(2017)02—0031—05 ANDCHARACTERIZATIONoF RESEARCHoNTHEPREPARATIoN TWo．D姗NSIoNMoS。盹～TERIALS CUI Xin—wen Yu．qing，XISha，TANGJun—li，HEKaj，ZHUQi，ZHOU 710077，Shaanxi，China) (JinduichengMolybdenumCo．，Ltd．，Xi’an as chemical sulfur and trioxideraw Abstract：Usingpowderm01ybdenum materials，byvapordepositionmethod， the disulfidethin6lmwas on a numberof molvbdenum depositedSi／Si0，substratesu血ce．111rough1峨e trials，it isshowed substrateaftersulfide certain andAr now that：the pretreatment，undertemperaturegas rate，t}letriande disulfidetllinfilmwas trioxide werecharacterized shapemolvbdenum prepared．FinaUy出emolybdenumproducts Elec咖n Force and Pho- AnalysisX—ray byScanning Microsc叩y(SEM)，AtomicMicmscopy，RamanSpectroscopy toelectmn Resultsshow