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TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能研究
年第 期( )卷
０１０３８ ２０１６ １ ４７
文章编号: ( )
１００１Ｇ９７３１２０１６０１Ｇ０１０３８Ｇ０５
/ 纳米多层膜的微观结构和力学性能研究∗
ZrN TiSiN
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１ ２３ ３ ２ ２ ２ ２ ２
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郑 伟 李 伟 孟 佳 刘 平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华
( , ; , ;
１．上海理工大学 机械工程学院 上海 ２０００９３ ２．上海理工大学 材料科学与工程学院 上海 ２０００９３
, )
３．中科院特种无机涂层重点实验室 上海 ２０００５０
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摘 要 采用反应磁控溅射的方法 利用 靶与 使两种不同结构的晶体调制层实现共格外延生长 而
Zr TiＧ
复合靶成功制备了不同 层厚度的 / 且还可以使非晶体在与晶体组成的纳米多层膜中实现
Si TiSiN ZrN TiＧ
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纳米多层膜 利用 射线衍射 高分辨透 晶体化 近年来的研究表明 和 等
SiN X XRD SiC SiN BN
３ ４
( )、 ( ) ,
射电子显微镜 HRTEM 扫描电子显微镜 SEM 和 气相沉积态为非晶的化合物在厚度小于１nm时 可在
纳米压痕仪研究了不同 层厚度对 / 、 、 等晶体层的模板效应下实现非晶晶化,
TiSiN ZrN TiSiN TiN ZrN AlN
. ,
纳米多层膜的微观结构和力学性能的影响 结果表 并与晶体模板层形成共格外延生长结构 从而使纳米
明, / 纳米多层膜主要由面心立方的 相 多层膜产生超硬效应.
ZrN TiSiN ZrN
, , , ,
组成 随着TiSiN层厚度的增加
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