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TiSiN纳米多层膜的微观组织和力学性能研究
年第 期( )卷
１１０８０ ２０１５ １１ ４６
文章编号: ( )
１００１Ｇ９７３１２０１５１１Ｇ１１０８０Ｇ０５
/ 纳米多层膜的微观组织和力学性能研究∗
AlN TiSiN
１ ２ ３ ２ ２ ２ ２ ２ ２
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陈朋灿 李 伟 卢建富 刘 平 张 柯 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华
( , ; , ;
１．上海理工大学 机械工程学院 上海 ２０００９３ ２．上海理工大学 材料科学与工程学院 上海 ２０００９３
, )
３．浙江金盾链条制造有限公司 浙江 诸暨 ３１１８１３
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摘 要 采用 复合靶和 靶 用射频磁控溅射 两相或多相组成的调质层的纳米多层膜已有文献中却
TiSi Al
/ .
工艺沉积不同TiSiN层厚度的 AlN TiSiN纳米多层 鲜有报道 本课题组最近报道了具有两相的TiSiN作
. ( )、 /
膜 采用 射线衍射仪 扫描 电子显微镜 为调制层和面心立方结构的 为模板层组成
X XRD CrN CrN
[ ]
( )、 ( ) １０ , /
SEM 高分辨透射电子显微镜 HRTEM 和纳米压 TiSiN纳米多层膜的研究 表明CrN TiSiN纳米多
痕仪研究了不同 层厚度对 / 纳米多 层膜的微观组织和力学性能与 中的 含量有
TiSiN AlN TiSiN TiSiN Si
. , .
层膜的微观组织和力学性能的影响 结果表明 随着 密切的联系 在该研究中模板层 CrN是面心立方结
, , ,
TiSiN层厚度的增加 AlN相的结晶程度先增加后降 构 本文在前期研究的基础上 采用具有密排六方结构
, ,
低 涂层的硬度先提高后降低 当 TiSiN层厚度为 的AlN作为模板层与具有两相结构的 TiSiN交替涂
. / ,
０．５nm时具有最高的硬度和弹性模量 HRTEM观测
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