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一种TFT阵列结构及其制造方法
SooPAT
一种TFT阵列结构及其制造方法
申请号:200910055777.7
申请日:2009-07-31
申请(专利权)人 上海天马微电子有限公司
地址 201201 上海市浦东新区汇庆路889号
发明(设计)人 赵本刚 袁剑峰 李雄平 马小军 时伟强
主分类号 G02F1/1362(2006.01)I
分类号 G02F1/1362(2006.01)I G02F1/1368(2006.01)I
H01L21/82(2006.01)I
公开(公告)号 101989015A
公开(公告)日 2011-03-23
专利代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人 郑玮
注:本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
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