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TiAlSiN涂层刀具研究新进展

2012年第46卷No.2 3 TiAlSiN涂层刀具研究新进展 韩振威,林有希 福州大学 摘要:在TiAlN涂层中添加第四组元素以提高涂层的力学性能和热稳定性已成为目前刀具涂层的前沿领域。 而在这些多元涂层中,Si能显著改进(Ti,Al)N涂层的抗氧化性、热稳定性和硬度,因而引起了研究人员的极大兴 趣和关注。对TiAlSiN涂层的发展过程、Si在TiAlSiN涂层中的作用、TiAlSiN涂层的制备方法以及其发展趋势做了 系统介绍。 关键词:TiAlSiN;硬度;热稳定性;纳米复合;制备方法 中图分类号:TG711;TH142.2      文献标志码:A ProgressinResearchofTiAlSiNCoatingTools HanZhenwei,LinYouxi Abstract:Tomeettheevergrowingindustrialdemandofanenhancedperformance,quaternaryTiAlNbasedonthin filmshasbeendeveloped.Amongthem,incorporationofSiintotheTiAlNcoatingattractsextensiveattentionduetothe combinationofsuper-hardeffectandimprovedthermalstability.ThedevelopmentprocessofTiAlSiNcoating,themecha nismandeffectofSielementinTiAlSiNcoating,theTiAlSiNcoatingpreparationmethodsandthedevelopmenttrendof TiAlNcoatingtoolsareintroduced. Keywords:TiAlSiN;hardness;thermalstability;nanocomposite;preparationmethods 等现象。因此,进一步提高TiAlN涂层刀具的性能  引言 迫在眉睫。近年来的研究结果表明,在TiAlN三元 在过去三十年中,TiN硬质涂层由于其较高的 系涂层中加入其它元素(如Si、V、Cr和B等[3-6]), 硬度和耐磨性,在工具行业中得到了广泛的应用。 可形成一些特殊的纳米相,从而显著提高涂层的综 然而,TiN涂层主要应用于温度不高、脆性大以及不 合性能。为了抑制TiAlN涂层高温热分解过程,在 耐冲击等条件下,这些不足限制了它进一步的发展。 TiAlN涂层中添加第四组元素以高涂层的力学性能 TiN无法满足高速切削条件下综合机械性能的要 和热稳定性已成为目前刀具涂层的前沿领域。而在 求,已经逐步被性能更加优异的TiAlN涂层所替代, 这些多元涂层中, Si能显著改进(Ti,Al)N涂层的抗 由于Al元素的加入,TiAlN涂层不但在硬度、耐磨 氧化性、热稳定性和硬度,因而引起了研究人员的极 性方面优于TiN,而且大大改善了TiN涂层的抗高 [7] 大兴趣和关注 。同时TiSiN涂层展现出来的高硬 温性能。而 TiN中添加非金属 Si,不仅能够抑制 度使得科研工作者尝试将 TiAlN和 TiSiN涂层结 TiN柱状晶形成,而且由于热力学驱动,TiSiN涂层 合,得到比两者更优且兼具两者特性的新型涂层。 极

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