RSF光栅尺MS2x系.PDFVIP

可靠性 . 尖端性 . 灵活性 . MS 2x系列 单场扫描型开放式光栅尺  目录 页码 页码 测量原理和设计优点 3 限位开关轨迹 6 扫描原理，屏蔽线的连接，标准接线定义 4 测量精度 7 输入信号 5 开关信号输出 6 附件:电子信号测试和安装辅助工具PG 8 MS 25, MS 26 内置安装指示灯 7 MS 2x 技术数据 8–9 MS 2x MO, MS 2x MK 0 RSF 其他产品 9 MS 2x MA, MS 2x MS  MS 2x MP 2 RSF 分支机构 20 MS 2x MT 3 MS 2x GK 4 MS 2x GA 5 概念解释 光栅周期 (刻线间距) 宽度的脉冲。RSF光栅尺的参考标记又可以称做“真实标记”， 光栅是指在刻线载体(玻璃、钢带、零膨胀陶瓷)上连续刻蚀 因为该标记在往返扫描过程中可重复并没有空程误差。后续电路 的刻线和空隙。刻线和空隙的宽度是相同的。一条刻线和一 通过这个脉冲预先设定一个值找到绝对参考标记的位置。 条空隙称为光栅的一个周期(有时称为刻线间距)。刻线和空隙 错误信号 被精确地蚀刻在刻度尺上。 错误信号产生在光栅安装不正确的状下。光栅尺错误的扫描产生 信号周期 一个故障扫描信号。 当扫描头在光栅尺扫描时，扫描头会输出一个正弦信号， 测量精度 该正弦信号的一个周期对应于一个光栅周期。通常信号 精确度是测量系统的一个基本特性。光栅尺的精确度等级定义如下： 周期和刻线间距是相同的。 在任意1米测量长度区段内测量值和真实标准值的最大误差。 电子细分 (e.g. ±5 µm/m). 正弦电子信号可以通过电子细分电路进行等量细分，电子细分 细分误差 电路可以对每一个细分量产生一个方波信号。电子细分是一个 就是一个信号周期内的位置误差，它是由扫描质量和光栅尺的信号周 连续过程。 期决定。RSF开放式光栅尺的此类误差在测量范围内任意点均约为信号 测量步距(分辨率) 周期 ± 1%左右。 分辨率是光栅尺所能产生的最小测量步距。即是显示器可以显 阿贝误差 示的最小计数单位，也称测量步距。 阿贝误差是指在测量系统安装过程中，由于测量轴和运动轴不共轴 参考脉冲(参考标记)