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热膨胀量=温度差X热胀系数X长度=5.802X长度 (mm) 长度单位: m 参考资料：GB/T20801.2-2006 表B.1 (东北大学，辽宁??沈阳??110006) 2.2??材料的其它性能????机械强度??如上所述，系统的器壁必须承受得住大气的压力。因此它必须满足最低机械强度和刚度的要求，应考虑相应尺寸的结构所能承受的总压力(当然，容器结构形状也有较大的影响。例如，圆柱形和球面形结构的强度就大于平面形结构的强度)。????热学性能??许多真空系统要承受温度的变化，如加热和冷却或二者兼备。因而必须对所用材料的热学性能十分熟悉。不仅要考虑到熔点，还要考虑到强度随温度的变化。例如，铜的机械性能远在低于熔点温度之前就开始下降，因而不宜用铜制做真空容器的承压器壁。另外，真空系统的材料除了受到温度缓慢变化的影响外，还会受到温度突变的影响。因此，还要考虑材料的抗热冲击的特性。????电磁性能??许多真空系统中的部件必须具备能完成某项功能或工序所要求的电性能，同时这些性能又不能与真空系统的要求相矛盾。例如，元件在真空室中工作，是靠辐射放热冷却的，因此元件的工作温度将会很高，使得元件的电性能可能受到影响，因此在选材及结构设计上要考虑工作部件的耐高温及冷却问题。 ????在许多真空系统中，往往要应用带电粒子束。但这些带电粒子束往往容易受到某些不必要磁场的干扰。因此在有电子束或离子束的系统中，必须认真考虑系统材料的磁性能，在某些情况下，即使很小的磁场也可能造成很严重的问题。因此必须考虑用非磁性材料。????其它性能??光学性能(例观察窗)、硬度、抗腐蚀性、热导率和热膨胀等性能也常常起着十分重要的作用。2.3??真空材料的选材原则2.3.1??对真空容器壳体及内部零件材料的要求????有足够的机械强度和刚度来保证壳体的承压能力。????气密性好。要保持一个完好的真空环境，器壁材料不应存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷。有较低的渗透速率和出气速率。????在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低(对超高真空系统来说尤其重要)。????化学稳定性好。不易氧化和腐蚀，不与真空系统中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。????热稳定性好。在系统的工作温度(高温与低温)范围内，保持良好的真空性能和机械性能。????在工作真空度及工作温度下，真空容器内部器件应保持良好的工作性能，满足作业工艺的要求。????有较好机械加工性能及焊接性能。2.3.2??对密封材料的要求????有足够低的饱和蒸气压。一般低真空时，其室温下的饱和蒸气压力应小于1.3×10-1～1.3×10-2Pa。????高真空时，应小于1.3×10-3~1.3×10-5Pa。????化学及热稳定性好。在密封部位，不因合理的温升雨发生软化，发生化学反应或挥发，甚至被大气冲破。????有一定的机械及物理性能。冷却后硬化的固态密封材料、可塑密封材料或干燥后硬化的封蜡等，要能够平滑地紧贴密封表面，无气泡、无皱纹。当温度变化时，不应变脆或裂开。液态或胶态密封材料应保持原有粘性。????某些密封材料应能溶于某些溶剂中，以便更换时易于清洗掉。????对真空中应用的材料除上述要求外，在某些情况下还必须考虑其电学性能、绝缘性能、光学性能、磁性能和导热性能等等。????当然，除了材料的以上性能外，还要考虑材料的成本、利用率及选购的可能性等。 金属材料 ????在真空系统设计与制造中常用的金属及其合金材料主要有：低碳钢、不锈钢、铜、铝、镍、金、银、钨、钼、钽、铌、钛、铟、镓、可伐合金、镍铬(铁)合金、磁性合金、铜合金、铸铁、铸铜、铸铝等。3.1??铸件????金属铸件由于表面粗糙，微孔较多，很少用于制造高真空系统零件。高级铸铁及有色金属铸件大多用于制造各种机械真空泵。要求铸件具有较高的致密性，通常采用的铸铁牌号有HT200、HT250、HT300等。铸造铝合金牌号有ZLl09(AI，Si，Cu，Mg，Ni)、ZL203(AI，Cu)、ZL301(AI，Mg)等。????当工作温度较高时，不应选用含有磷、锌、镉等元素的铜合金铸件。3.2??钢及不锈钢3.2.1??钢????碳钢在低真空工作范围内的应用较为普遍。通常根据工艺要求，碳钢制造的真空室内表面需要镀层涂覆或裸露抛光。除了镀层表面以外，碳钢表面放气速率比不锈钢大的多，尤其是锈蚀表面放气量更大，表面状态的好坏，是影响碳钢真空性能的主要因素。所以，应尽量使其内表面光滑、无锈。一般情况下工作真空度越高，则对内表面的要求也越严格。实践表明：室温时由大气渗透到真空中去的气体是很少的。然而，随着温度的升高，这种渗透量将急剧增加。在室温常压下氢气渗透过低碳钢钢板的速率要比低碳钢的表面放气率小几个数量