掺钛GZO 透明半导体薄膜的光学性质研究 - 中南民族大学学报(自然 .PDF

34 3 ( ) Vol． 34 No． 3 第 卷第 期 中南民族大学学报 自然科学版 2015 9 Journal of South-Central University for Nationalities (Nat． Sci． Edition) Sep． 2015 年 月 掺钛 GZO 透明半导体薄膜的光学性质研究 1 ，2 1 1 志有 ， ， 钟 陆 轴 龙 路 (1 中南民族大学 ， 430074 ;2 ， 430074) 电子信息工程学院 武汉 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室 武汉 (GZO) ， GZO 摘 要 以钛掺杂氧化锌镓 陶瓷靶作为溅射源材料 采用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了掺钛 (GZO :Ti) ， GZO :Ti 、 ， 透明半导体薄膜 利用光谱拟合方法计算了 薄膜的折射度 消光系数和厚度等光学参数 研究了 GZO :Ti ． : ， 氩气压强对 薄膜光学性质的影响 结果表明 拟合光谱曲线与实验测量光谱曲线一致 薄膜的光学性质与 ，GZO :Ti ， ． 氩气压强密切相关 薄膜折射率随波长增大而逐渐减小 表现出正常的色散性质 另外还采用包络法计算 GZO :Ti ， ． 了 薄膜的折射率和厚度 两种方法所获得的结果是基本相符的 ; ; 关键词 掺杂氧化锌 透明半导体薄膜 光学常数 中图分类号 TM914 文献标识码 A 文章编号 1672-4321 (2015)03-0064-08 Study on the Optical Properties of Titanium Doped GZO Transparent Semiconductor Thin Films Zhong Zhiyou1，2 ，Lu Zhou 1 ，Long Lu 1 (1 College of Electronic Information Engineering ;South-Central University for Nationalities ，Wuhan 430074 ，China ; 2 Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications，South-Central University for Nationalities，Wuhan 430074，China) Abstract