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线能谱 应用 绍 扫描电子显微镜X射 仪 介 扫描 电子显微镜/X射线能谱仪 （SEMEDS）理论依据是 电子与物质之 间的相互作用 。 图1所示，当一束高能 的入射 电子轰击物质表面时，被激发 的区域将产生二次 电子 、俄歇 电子 、特征射线和连续谱X射线 、背散射 电 子 、以及在可见 、紫外 、红外光 区域产生 的电磁辐射 。原则上讲 ，利用 电子和物质 的相互作用 ，可 以获取被 测样 品本身 的各种物理 、化学性质 的信 息 ， 形貌 、组成 、晶体 结构 、 电子结构和 内部 电场或磁场等等 。 SEM/EDS正是根据上述不 同信息产生 的机理 ，对二次 电子 、背散射 电子 的采集 ，可得到有关物质微观形貌 的信 息，对x射线 的采集 ，可得到物质化学成分 的信息。 应用范围 1．材料组织形貌观察 ， 断 口显微形貌观察 ，镀层表 面形貌观察 ，微米级镀层厚度测量 ，粉体颗粒表面 观察，材料 晶粒 、晶界观察等 ； 2．微 区化学成分分析 ，利用 电子束与物质作用时产生 的特征X射线 ，来提供样 品化学组成方面 的信息，可 定性 、半定量检测大部分元素 （B e4 -P U 94 ），可进 行表面污染物 的分析 ；焊 点、镀层界面组织成分分 析 。根据测试 目的的不 同可分为点测 、线扫描 、面 扫描 ； 3．显微组织及超微尺寸材料分析 ， 钢铁材料 中诸 马 氏体 、回火索 氏体 、下贝氏体等显微组织的观察 分析 ，纳米材料 的分析 ； 4．在失效分析 中主要用于定位失效点，初步判断材料 成分和异物分析 。 主要特点 图1.电子激发物体表面 1．样 品制备简单 ，测试周期短 ； 2．景深大 ，有很强 的立体感 ，适于观察像 断 口 那样 的粗糙表面 ； 3．可进行材料表面组织 的定性 、半定量分析 ； 4．既保证高 电压下 的高分辨率 ，也可提供低 电 压 下高质量 的图像 。 技术参数 分 辨 率 ：高压模式 ：3nm，低压模式 ：4nm 放大倍数 ：5~100万倍 4 94 检测元素 ：Be-PU 最大样 品直径 ：200mm 图象模式 ：二次 电子、背散射 图2 .日立3400N+IX R F 敬请垂询 Tel : 86-755-2999 565 1 ︱Fax :86-755-2782 1672 ︱ 深圳市美信检测技术有限公司 ︱深圳市宝安区石岩镇松 白路石岩湖方正科技 园A 5栋1楼 ︱ 型图片 图3 .P C B铜 箔相 结构观察 图4 .金相结构分析-304不锈钢 图5 . N I G焊盘剥金后观察 图6 .金属 断 口分析-解理 断 口 图7 .颗粒形貌观察 图8.微米级镀层 厚度测量 图9 . SM T焊 点界面成分分析 图10 .表面异物分析 Tel : 86-755-2999 565 1 ︱Fax :86-755-2782 1672 ︱ 深圳市美信检测技术有限公司 ︱深圳市宝安区石岩镇松 白路石岩湖方正科技 园A 5栋1楼 ︱