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扫描电子显微镜原理及特点
科技信息 ○机械与电子○ SCIENCE TECHNOLOGY INFORMATION 年 第 期
2010 29
扫描电子显微镜原理及特点
武开业
（榆林市环境监测总站 陕西 榆林 719000 ）
物点 与荧光屏上的 象点 在时间和空间上一一对应 称其为 同步
1 扫描电子显微镜成象原理 “ ” “ ” ， “
扫描 一般扫描图象是由近 万个与物点一一对应的图象单元构
”。 100
扫描电子显微镜是一种大型分析仪器 它广泛应用于观察各种固
， 成的 正因为如此 才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外 还能将样
态物质的表面超微结构的形态和组成。 ， ， ，
品局部范围内的化学元素 光 电 磁等性质的差异以二维图象形式显
所谓扫描是指在图象上从左到右 从上到下依次对图象象元扫掠 、 、 、
、 示。
的工作过程 它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成
。
的 只是在结构和部件上稍有差异而已 2 扫描电子显微镜成象特点
， 。
在电子扫描中 把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或
， 扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀 但由于其本身具有许
称作水平扫描 把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作 ，
， 多独特的优点 发展速度是很快的
垂直扫描 两者的扫描速度完全不同 行扫描的速度比帧扫描的速度 ， 。
。 ， 仪器分辨率较高 通过二次电子象能够观察试样表面 左右
，
2.1 6nm
快 对于 条线的扫描图象来说 速度比为
， 1000 ， 100
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