扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测-苏州校准检测.PDF

第 39 卷第 3 期 理化检验物理分册 Vol . 39 　No . 3 ( ) 2003 年 3 月 PTCA PAR T A : PH YSICAL TESTIN G Mar . 2003 综 述 扫描探针显微镜在粗糙度 、纳米尺寸 、 　　表面形貌观测方面的应用 游俊富 , 王 　虎 , 赵海山 ( 中国上海测试中心 , 上海 200233) 摘 　要 : 扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征 、表面形貌观测方面最重大的进展之一 ,是 纳米测量学的基本工具 。叙述了扫描探针显微镜的工作原理 、检测模式及在观察检测纳米级的粗 糙度 、微小尺寸 、表面形貌方面的特点和方法 , 比较了原子力显微镜 、常规的表面轮廓仪 、干涉显微 镜 、扫描电子显微镜在表面特性 、表面形貌观测方面的性能 ,着重介绍了扫描探针显微镜在粗糙 度 、纳米尺寸 、表面形貌观测方面的应用和存在的问题 。 关键词 : 扫描探针显微镜 ; 粗糙度 ; 表面形貌 ; 纳米尺寸 中图分类号 : TB302 . 1 　　　文献标识码 : B 　　　文章编号 : 100 140 12 (2003) 030 14605 THE A PPL ICA T ION O F SCANN IN G PROB E M ICRO SCO P E IN OB SERV IN G AND D E TERM IN IN G THE ROU GHN ESS , NAN OSCAL ED SIZE AND SU RFACE TO PO GRA PH Y YOU Junf u , WANG Hu , ZHAO Haishan (National Center for testing Technology Shanghai , Shanghai 200233 , China) Abstract : The scanning probe microscop e is one of t he most important develop ment s on observing and determining surface topograp hy and surface prop erties in near ten years and is basic tool of nano - measurement . The principles ,mea suring modes ,features and determination met hods for observing and determining t he roughness , nano - scale size and sur face topograp hy by SPM are described . The prop erties on observing and determining surface topograp hy and surface prop erties of atomic force microscop e , stylus - typ e roughness gauge , interferometer and scanning electron microscop e are com p ared . The application and present problems of SPM in observing and determining t he roughness , micro or nanoscale size