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实用型准分子激光微细加工机研制-光学精密工程
7 1 Vo l . 7 , N o. 1
1999 2 OPT ICS A N D PRECISION EN GINEERIN G F ebr uary , 1999
李呈德 万 盈 左铁钏
( 北京工业大学国家产学研激光技术中心 北京100022)
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1992 IBM , XL - 1
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193nm 0. 25m ,
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, Ex itech , M icrolas ,
, 211, 1996
, N CLT ,
: 1998- 08- 07
: 1998- 10- 06
7
80
2
N CLT 1
Table 1Specification of the tool
subsy stem ma in co mponents specif icat ion
Kr F 24 8nm
laser - physik L P X 305iF pulse ener gy 1200mJ
max imum repetitio n r ate 50Hz
CNC contr ol
at tenuat or
beam output ener g y v ariable fr om 10% to 95%
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