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硅基集成化电光调制器的研究毕业论文
本文研究结果表明，亚微米SOl脊形波导由于结构的特殊性而能够表现良好
的单模特性，其传输损耗小，适合做高速电光器件。采用亚微米SOI光波导设计
的基于微环谐振腔的电光调制器具有结构简单、器件尺寸小、工艺制作简单可行
等特点。在当代集成光通信领域将具有更广阔的应用前景。
关键词：集成光通信，亚微米SOI光波导，电光调制器，微环谐振器
U
ABSTRACT
ABSTRACT
Modern communicationhasbeen
optical technologymakingsignificant
progress
toward of network has
integrationhigh—speed，high—capacityall-opticalon·chip．There
beenarecenttrendto controland ona
generate，transmit,detecLlight
apply
most is has
lligh-densityintegratedchip．Theimportantpartintegration．Silicontmique
asa medium．Itis inthe of
advantagesphotonic transparentrangeoptical
telecommunicationsandhas
a indexof allowsfor
wavelengthshigh refraction，which
thefabricationof structures．In matureSi
addition，the
high-index—contrast integrated
metal-oxide enablesthe
circuit(complementary
ofdensesilicon-based andelectronics
implementation integratedoptics on-chip．
deviceswitll and
lowercostsare
Compactphotonicwaveguide superiorperformance
for circuits．Forthis
requiredlarge—scaleintegratedphotonicintegrated purpose，
callbe the
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