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等离子体技术在碳氮膜制备中的应用
, 真 空 =D;? 年 月 ; ,; ?IU 等离子体技术在碳氮膜制备中的应用 李 建 刘艳红 俞世吉 马腾才 , , , 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 辽宁 大连 ’ , *#/+ 摘 要 是 等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质 含有 的碳氮膜具有优 !% $ / , % $ / 012 13456 012 异的电学 光学和机械特性 在很多领域有应用前景 人们已经应用多种方法进行碳氮膜的制备 本文将对等 7 , - - 离子体技术在碳氮膜制备中的应用进行综述 并在成膜速率 成膜质量等方面 对以往工作成果进行论述 最 , 7 , 8 后将讨论沉积过程中几个参量对碳氮膜沉积速率 膜结构等的影响 7 - 关键词 碳氮膜 等离子体 薄膜 ! 8 8 : 9;= 中图分类号! .$(8 /$ 文献标识码! 文章编号!##%#$’##/+#%###C%#* ? @A B DEEFGHIJGKLMKNEFIMOIJPHQLKFKRSJKTPEKMGJGKLKNHIUVKLLGJUGTPNGFOM , % , % , % WXYZ[6 WX\ ][6436^ ]\ _4Z‘Z aB @56^b[Z ’ , , cdedfgfhiejkledklhkmnedflokepnkqomoredoksthupfrdlks vksesqiewfltfexw , *#/, + yepoeszso{flwodhkm|fr}skpk~h yepoes !}ose ! , , , % DVMJUIHJ $ / [#$5%Zb5%453$5Zb[’’()(134565[’ Z[*[5$Z[’4[*[(4[+54Z^45$4[$%654[6%Z[*36% @45 012 % $ / , b[$)366Z$Z%5-Z’*b36[Z6Z6^012 4[+5.#5$Z3$5’5
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