二氧化锡溅射工艺研究.PDF

二氧化锡溅射工艺研究 1 1 2 冯海玉 , 黄元庆 , 冯勇建 ( 1. 厦门大学机电工程系 , 福建 厦门 361005 ; 2. 厦门大学萨本栋微机电研究中心 , 福建 厦门 361005) 摘要 : SnO2 是最早使用也是目前使用最广泛的一种气敏材料 ,使用该材料设计制作的气敏传感器 具有许多优点。在简要介绍溅射镀膜的成膜过程和特点的基础上 ,着重介绍了 SnO2 膜的制备流 程 ,分析了功率和温度变化对成膜质量的影响。 关键词 : SnO2 膜 ; 溅射功率 ; 基片温度 中图分类号: TN304055 　文献标识码 : A 　文章编号 : (2003) 07/ Study on sputtering process of tin oxide 1 1 2 FEN G Haiyu , HUAN G Yuanqing , FEN G Yongjian ( 1. Depart ment of Mechanical Elect ronic Engi neeri ng , Xiamen U niversity , Xiamen 361005 , Chi na ; ) 2 . Pen Tung S ah M EMS Research Center of Xiamen U niversity , Xiamen 361005 , Chi na Abstract : SnO2 is the one of gassensitivity materials that are used the earliest and the most widely , gassensitivity sensors made of this material have many advantages. Based on the simple introduction of the course of sputtering film plating and characteristic , the preparation flow is introduced in detail , the effects of power or temperature changing on the film quality are analyzed. Key words : SnO2 film ; sputtering power ; substrate temperature 靶材溅射粒子的产生过程是以动量传递为基础 1 　引　言 的动力学过程。辉光放电将气体电离成具有高能量 随着纳米技术的发展 ,与该项技术相结合的气 的入射离子 ,并轰击靶材表面 ,碰撞过程中通过能量 敏传感器被广泛应用于检测各种有害气体、可燃气 传递 ,使靶材粒子获得一定动能之后克服靶表面的 体、工业废气和环境污染气体。SnO2 是最早使用也 束缚能而飞溅出来。由于用来轰击的入射离子能量 是目前使用最广泛的一种气敏材料[1 ] ,使用该材料