一种可同时测量温度和压力的新型SAW传感器.PDF

第 7卷 　第 6期 纳 　米 　技 　术 　与 　精 　密 　工 　程 Vo l. 7　No. 6 　 2009年 11月 Nan otechnology and Prec ision Eng in eer in g Nov. 　2009 　 一种可同时测量温度和压力的新型 SAW 传感器 1, 2 3 1 1 李天利 , 吴正斌 , 胡 　泓 , 郑 　亮 ( 1. 哈尔滨工业大学深圳研究生院 , 深圳 518055; 2. 深圳大学机电与控制工程学院 , 深圳 518060; 3. 中国科学院深圳先进技术研究院 , 深圳 518067) ( ) ( ) 摘 　要 : 针对汽车轮胎压力监测系统 TPM S 的典型应用 ,提出了一种基于声表面波 SAW 的新型传感器. 这用 SAW 延迟线理论 ,温度和压力对于传感器的影响能够通过射频回波信号的变化反映出来. 通过在数据处理中引入 ( ) ( ) 权重因子 ,实现对于温度和压力的准确测量. 在一定压力 0 ～200 kPa 和温度 20 ～100 ℃ 范围内的测试结果表 明 ,该传感器能够同时准确测量温度和压力. SAW 传感器对温度的测量精度可以达到 005 ℃,对压力的测量精度 可以达到 72 kPa. 在对于可靠性和耐久性具有特殊要求的汽车轮胎压力监测等领域 ,该传感器简单的结构和无线 无源的测量方式 ,进一步提高了其实用性和推广价值. 关键词 : 声表面波 ; 传感器 ; 轮胎压力监测系统 ; 压力 ; 温度 中图分类号 : TP2 12　　　文献标志码 : A 　　　文章编号 : (2009) A Novel SAW Sen sor for Tempera ture and Pressure M ea surem en t 1, 2 3 1 1 L I Tianli , WU Zhengb in , HU Hong , ZH EN G L iang ( 1. Shenzhen Graduate Schoo l, H arb in In stitu te of Technology, Shenzhen 518055, Ch ina;