微电铸工艺电铸液的研究现状.doc

大连理工大学研究生试卷 类别 标准分数 实得分数 平时成绩 10 作业成绩 90 总分 100 授课教师 签 字 系 别： 机械工程学院 学 号： 姓 名： 考试时间：2014年 1 月 13 日 微电铸工艺电铸液成分的研究现状 （大连理工大学工程学院 116000） 从而加深对微电铸工艺的认识，为后续工序充分准备。 现状 Present status of the research on electrotyping solution about Micro electroforming ZHOU chuanpeng (Dalian University of Technology School of Mechanical Engineering Dalian 116000) Abstract: As the rapid development of MEMS technology, microfluidic chip has become the focus in the domain of micromachine, and it is used broadly in almost every fields. During the fabrication of microfluidic chip，the mold plays an extremely important role, and the fabrication of molds most likely use LIGA technique. LIGA is the abbreviation for the three worlds of Devin, ‘Lithographie, Galvanoformung, Abformung’. It represents the collection of the deep X-ray lithography process, the micro electroforming process and micro replication process. The micro electroforming process has its unique role and charm. This paper mainly introduces the research status and development trend of the composition of electrotyping solution about Micro electroforming, so then deepen the understanding of the micro electroforming process, and got fully prepared for the follow-up process. Key Words: Micro electroforming, Electrotyping solution, Research status 0 引言 微电铸在中占据着极其重要的地位，多方面，而对于微电铸来说电铸液的成分却是制约其发展的关键因素电铸成分的研究具有很大的发展空间和广阔的发展前景主要讲解微电铸成分的研究现状和发展趋势，为微电铸的进一步研究铺垫。 LIGA工艺和 1.1 微电铸工艺基本原理 的1.1所示。 图1.1 电铸原理图 1.1中，阳极反应（氧化）：Ni + 4OH  阴极反应（还原）： Ni 微电铸则是在基础上发展的一种新工艺技术技术 1.2 LIGA工艺简介 如图1.2所示，目的是重要 图1.2 LIGA 工艺流程示意图 其中，X射线深度光刻工艺利用了X射线的穿透能力和线宽控制能力。通过对厚膜光刻胶的曝光和显影，从而得到光刻胶微结构，它是一种高比的结构和进行利 2微电铸电铸液简论 2.1 电铸液简介及其要求 技术 按照各种成分在电铸过程中所起的作用,可将电解液看成是由主盐、活化剂、缓冲剂、润湿剂、添加剂等组成。 由于微电铸层厚，又有物理机械性能要求,因而对微电铸溶液有一些的要求: 沉积速度快 提高沉积速度可以缩短微电铸时间，故需要采用尽可能高的电流密度，因此要求溶液要能 适应高速微电铸工艺的要求。 2)溶液的成分简单且容易控制 一般要求电铸层具有机械和物理性能，因而溶液成分要力求简单，便于控制和维护，以保证所得到的铸层具有稳定性。 3)溶液要求具有较高的纯度 由于微电铸层比较厚，各种机械、无机和有机杂质等对