无尘室技术手册.pptVIP

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无尘室技术手册

萬士達無塵室施工規範;;;;;潔淨室基本要求 (1) ;潔淨室基本要求 (2) ;;;;Class10: 10顆/英呎^3;;潔淨室的氣流速度與換氣次數 ( I E ST - R P - C C 0 1 2 / T a b l e 1 );無塵室:係指製造廠內維持穩定溫度、濕度及潔淨度等環境控制 之生產場所。 MAU:Make-up Air Unit,稱之謂外氣空氣調節箱;專為提供無塵 室室內新鮮外氣之處理器,外氣經此設備後可降溫、除 濕及除去外氣所攜帶之粉塵顆粒,以維持室內一定之濕度 及室內正壓值,防止外氣經由縫隙侵入,破壞無塵室環 境。 FFU:Fan Filter Unit,稱之謂風機濾網組;專為提供無塵室室內氣 流循環及濾除室內粉塵顆粒,以維持穩定潔淨度之設備。 DCP:Dry Cooling Pump: 乾盤管泵浦;專為DCC供應穏定泠却 水,以維持DCC之穏定性。 DCC:Dry Cooling Coil,乾盤管:裝設於P層回風道入口處,專為 移除室內因製程機台生產及建築輻射等產生之熱量,以維持 室內穩定之溫度環境。 PB:Pass Box,傳遞箱;專為提供無塵室室內外物品傳遞使用。 AS:Air Shower,空氣浴塵室; HEPA Filter:High Efficiency Particulate Air Filter,高效過濾網。 ULPA Filter:Ultra Low Penetration Air Filter,超高效過濾網。;潔淨室所需外氣量(Make-Up Air) ;潔淨室內循環風量的決定(第2種);潔淨室內循環風量的決定(第2種);無塵室建造流程圖;;;;;;指地面在承受900Kg的集中荷重(6.45㎝2測頭)時, 面板上任一點的垂直變形量(deflection)不得超過 2mm。;低頻(0~100Hz)範圍內之微幅震動;機台單一支撐點重量超過2500kg以上採用剛性基座設計,以滿足特殊載重需求 設計環境震動值符合精密設備所需,如VC-A,VC-B,VC-C ;;潔淨室環境控制-室內靜壓及溼度;為什麼叫乾盤管?;什麼是換氣次數?;;風速量測;潔淨等級測試;照度量測;噪音量測;室壓量測;溫度及溼度測試;高架地板接地阻抗測試;牆板接地阻抗測試 ;;在美國的照明照度單位為呎燭(foot-candle, fc),相等於每平方呎一流明(lumen)。流明是被用來描述光源的光輸出 (光束) ;各種不同設計之潔淨室耗能比較 (單位KW);;;;;;;;;無塵室施工規範====金屬隔間庫板 A. 採用總厚t=50mm於工廠預制成型組合金屬庫板,四邊以t=0.5mm錏板框材密封,板 與板間用t=0.5mm ㄇ型錏板成型骨材崁合,每@900mm/1200mm 放置一支做連接固定。 B. 金屬庫板雙面外覆總厚度≧0.5mm彩色鋼板,材質符合以下要求: 1. 采鍍鋅冷軋鋼板,符合JIS G 3312 CGLC規定。 2. 鋁鋅層至少50g/M2(雙面)符合ASTM A90規定。 3. 烤漆:正面采二塗二烤PE 聚脂面漆,至少15μm 以上。背面采一塗一烤EPOXY 漆,至少5μm以上。 4. 特性需求引用標準 ●鋁硬度 ASTM D3363 ●鹽霧試驗ASTM 8117 ●衝擊試驗ASTM D2794 ●耐候試驗ASTM G53 ●塗膜厚度 ASTM D1005 ●光澤度 ASTM D523 ●彎曲耐試驗ASTM D4145 ●濕潤試驗ASTM D2247 2. t50mm一小時防火金屬岩棉庫板 A. 金屬庫板中蕊材質採密度100kg/m3耐火性岩棉填充,纖維鋪設方向與鋼板垂直黏合處理。 B. 金屬庫板表面抗靜電處理需求值106~108Ω,配合圖面位置按置。 C. 金屬庫板採標準寬度900mm /1200mm,高度詳設計圖。 D. 金屬庫板需符合防火時效一小時要求,引用標準GB 9978型式認證。 E. 金屬庫板於出廠前於烤漆鋼板表面須貼PE 保護膜,以防污損烤漆鋼板表面。 F. 金屬庫板H6000m/m時中心載重測試時,必須符合200Kg施力撓度小於7/1000 L。 G. 天地軌等零組件,採≧1.5mm 以上鋁擠型,表面陽極或烤漆處理,尺寸詳設圖。;無塵室施工規範====門及窗 A. 組合門:面材規格同隔間牆,門板上裝設

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