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管理干部才能发展实战系列(MTPManagementTrainingDevelopment
(台北班) 奈米科學與奈米科技的發展仰賴於製造技術的提升與改進。近十年來，隨著半導 體微影技術的進步。人們已經可以很順利地製造尺寸小於 100nm的微型結構及元件。 然而，當奈米結構的尺寸小於22nm時，製造過程會變的很複雜及困難。奈米壓印技術 是一種次世代微影技術。此種技術利用轉印的方式可以將模板上的奈米圖形轉印至基 板上。奈米壓印技術不僅可以製造奈米結構，也可以用來進行大範圍面積的轉印。因 此，奈米壓印技術是下世代微影技術中最具潛力的一種微影技術。工研院特邀請擁有 多年研究及相關經驗之專家講師授課。 課程規劃之目的為培養電 子束微影技術應用與奈米壓印系統的設計概念 ，為企業 推動產業微影技術應用與大量及快速奈米結構製造方法的訓練重要基礎技術人力。 本課程是以傳統光學微影技術應用與製程相關課程為基礎，循序漸進介紹奈米壓 印 系統設計及應用、產業現況及未來趨勢，使學員了解奈米結構製作與壓印 系統之觀 念。課程內容包含： 光蝕刻微影、電子束微影 、奈米壓印技術種類及方法等關鍵技術 內容， 期望可使結訓學員能夠馬上進入企業貢獻其專才。 課 程 大 綱 101 年07月 26日（ 四） 9:30~16:30 101 年07月 27日（ 五） 9:30~16:30 一、奈米壓印技術簡介 一、光蝕刻微影技術 1.壓印模板 製作 1. 光罩製作 2. 光阻塗佈 2. 光阻塗佈 3.脫模方法 3.曝光及圖案轉移 4. 奈米結構移轉 4.蝕刻製程 二、奈米壓印方法及種類 5. 結構尺寸極限 1. 熱壓式奈米壓印 二、電子束微影技術 2. 紫外線固化奈米壓印 1.何謂電子束 3. 卷對卷印刷技術 2.電子束聚焦及控制 三、奈米壓印技術實際應用 3.電子束直寫及曝光 1. 綠能應用 4.圖案轉移 2. 生物科技應用 3. 光電元件應用 4. 半導體電子元件應用 講 師 介 紹 孫 教授 現 職：國立交通大學應用化學系 教授 學 歷： 美國普林斯頓大學電機博士 經 歷 : 加拿大滑鐵盧大學電機系訪問教授、國立東華大學物理系教授 、副教授 專 長：再生能源、奈米微影技術、半導體光電元件、生物感測 頁 1 / 2 ◎課程聯絡人： (02)2370-1111 分機 316陳 小姐 ◎課程日期： 101 年07月 26日 ~07月 27日 (四、五) ，上午09:30~16:30 ，共12 小時。 ◎ 上課地點：台北市中正區館前路 71號 館前聯合大樓( 實際地點依上課通知為準) ! ◎報名資格 ：相關行業之技術研發 、品保人員或對相關技術有興趣之人士 。 ◎費 用 ：每人 6,500 元整 。 ◎優惠方案：開課十日前報名且完成繳費或同公司二人 (含 )以上報名， 5,500/人。 ◎報名方式：線上報名 .tw ，或請將報名表傳真02-2381-1000 ◎課程聯絡人： (02)2370-11
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