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2017-06-21 发布于天津
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XPS分析绝缘样品中磁透镜对中和效果的影响研究

第22卷第3期分析测试技术与仪器 Volume22 Number3 20 16 年9 月 ANALYSIS ANDTESTINGTECHNOLOGY AND INSTRUMENTS 　　　　 Sept. 2016 ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ 研究报告(159~164) XPS分析绝缘样品中磁透镜对中和效果的影响研究 1 1 1 2 冯　婷 ,冯根生 ,祁成林 ,杨　彬 (1. 北京科技大学冶金与生态工程学院,北京　 100083; 2. 岛津企业管理(中国)有限公司,辽宁沈阳　 110001) 摘要:以绝缘样品聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)为X射线光电子能谱(XPS)分析测试对象,探讨了使用不同的X 射线源作为激发源时,磁透镜对荷电中和系统中和效果的影响. 试验结果表明,当使用单色化Al Kα为激发源时, 磁透镜对荷电中和器的中和效果没有显著影响. 而使用非单色化双阳极Mg Kα为激发源,磁透镜开启时才能得到良好的荷电中和效果,磁透镜关闭时所测谱峰会因荷电效应而发生峰形畸变. 关键词:X射线光电子能谱;绝缘样品;磁透镜;荷电中和;X射线源中图分类号:TH838 文献标志码:A 文章编号:1006-3757(2016)03-0159-06 - DOI:10.16495/ j.1006 3757.2016.03.006 Effect of Magnetic Lens on Neutralization for Insulating Sample in XPS 1 1 1 2 - - FENGTing ,FENG Gen sheng ,QI Cheng lin ,YANG Bin (1. School of Metallurgical and Ecological Engineering,University of Science and Technology Beijing,Beijing 100083,China; 2. Shimadzu Corporation,Shenyang 110001,China) - Abstract:ThechargecompensationplaysanimportantroleintheX rayphotoelectronspectroscopy (XPS)analysisforthe - insulating sample. According to the different X ray sources used in XPS,the magnetic lens had different effect on the charge compensation for the insulati