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CNIC-01871 CAEP-0183 -w—i ^―^ «w _ 少 、 - —•» A ^ 、r~»‘t 、 l 、 .� 、，f E L K 禺 f 源 头 骏 苜 测 筑 万 法� 周 长 庚 胡 永 宏 李 彦 (中国工程物理研究院核物理与化学研究所，绵阳，621900 ) 摘 要� 介绍 了 E C R 离子源实验台的工作原理和结构。总结了研制 过� 程中单个主要部件参数的测试方法及在一定的束流和束斑直径情 况� 下，综合参数的测试方法，并给出了理想的测试数据。提出了放电室� 中的等离子体密度、准确的氢气流量等参数还无法在运行中测试等� 问题和解决的办法。� 关 键 词 ： E C R 离 子 源 技 术 参 数 工 作 原 理 测 试 方 法� 5 6 Testing Method s of EC R Ion Source Experimental Platform (In Chinese) Z H O U Changgen g H U Yonghon g L I Ya n (Institute of Nuclear Physic s an d Chemistry , C A E P , Mianyang , 621900 ) ABSTRACT Th e principl e an d structur e of E C R ion sourc e experimenta l platfor m wer e instroduce. Th e testin g method s of th e parameter s of singl e mai n componen t and th e comprehensiv e parameter s unde r th e conditio n of certain bea m curren t and beam spot diameter wer e summarize d in proces s of manufacturing . Som e approprite testin g date s wer e given . Th e existent question s (th e parameter s of plasma density in discharg e chambe r an d accurat e hydroge n flow , etc , can no t be measure d in operation ) an d resolution s wer e als o pu t forward . Key words ： EC R io n source , Technica l parameters , Workin g principle , Testin g method 57 引 言 E C R 离子源实验台是核技术应用的重要平台，也是中子发生器的关键实验设备。与高� 频离子源相比，ECR 离子源有非常突出的优点，但也存在一些缺点：其结构比较复杂，运行� 过程中由于各