电子气体控制器的应用.pdf

电子气体控制器的应用 上海睿熹科技有限公司 ShangHai WiseChoose Technology Co.,Ltd 电子气体控制器的应用 目录 一、 气体质量流量控制器3 二、 气体压力控制器6 三、 气体背压控制器10 四、 气体压力、流量控制器的多模块的应用14 五、 气体压力、流量控制的具体应用案例17 2 电子气体控制器的应用 一、 气体质量流量控制器 气体稳流是在关注的气体流路中与外部气体负载和上游的压力 （在气体负载的允许范围内）的变化无关，始终保持恒定的气体流量。 在气体流路中要保持恒定的流量，传统的控制方式采用气体稳流阀部 件。气体流路如图： 上游压力 关注气体流路 气源 减压阀 稳流阀 气体负载 出口 气体流量F 传统稳流阀 传统稳流阀都以机械动作来控制气体流路中的流量，无法真正的 显示出当前的流量值，只能通过辅助工具（测量气体流量）检测气体 流量后，就以此固定。稳流阀的缺点如下： 1. 气体流量的重复性差： 使用机械旋钮进行调节其内部的针型阀的阀芯的开度，受人为和 外界的影响比较大，一次性差。 2. 气体流量的在线性差： 无法实时显示当前的气体流量，只能使用辅助工具来测量。 3. 气体流量控制精度差： 气体流量控制精度完全是依赖于测量气体流量的辅助工具，并也 无法保证其运行过程中的气体流量值的正确性。 3 电子气体控制器的应用 4. 气体流量控制的自动化程度差 当需改变气体流量时，需人为的去调节其阀体旋钮，并进行测量 其流量，操作比较麻烦，自动化程度差。 气体质量流量控制器 由上海睿熹科技有限公司开发研制的气体质量流量控制器 MFC-1000 系统产品，是一种气体电子流量控制器，是由气体质量流 量传感器和电子比例阀组成的一种电子闭环控制回路，并采用先进的 计算控制算法（PID ），根据预设置的气体流量和关注气体流路中的流 量的差值，调节电子比例阀的阀芯开度，以致调节到气体流路上的流 量逼近至所设置的流量值。其控制方式如下： 气源输入 FS 气体质量流量传感器 比例阀 流量设定值 流量信号值 RS-232 控制信号 输出 反馈信号 MFC-1000 系列的气体质量流量控制器的功能上与传统的气体 稳流阀完全相同，并完全可以于替代之。 气体质量流量控制器的优点如下： 1. 气体流量控制精度高； 采用热式半导体的气体质量流量传感器技术，真正反映出气体 4