第章薄膜生长基础.pdfVIP

薄 膜 生 长 基 础 薄 膜 生 长 基 础 薄薄 膜膜 生生 长长 基基 础础 薄 膜 生 长 基 础 薄 膜 生 长 基 础 薄薄 膜膜 生生 长长 基基 础础 性能 性能 薄膜结构 性性能能 薄膜结构 薄膜的生长过程 薄薄膜膜结结构构 薄膜的生长过程 � 薄薄膜膜的的生生长长过过程程 表面吸附 表面吸附 从蒸发源或溅射源入射到基板表面的气相原 � 表表面面吸吸附附 从蒸发源或溅射源入射到基板表面的气相原 从从蒸蒸发发源源或或溅溅射射源源入入射射到到基基板板表表面面的的气气相相原原 表面吸附 表面吸附 表表面面吸吸附附 子都带有一定的能量它们到达基板表面之后可能发生三种现 子都带有一定的能量它们到达基板表面之后可能发生三种现 子子都都带带有有一一定定的的能能量量它它们们到到达达基基板板表表面面之之后后可可能能发发生生三三种种现现 象：与基板表面原子进行能量交换被吸附；与基板表面不进 象：与基板表面原子进行能量交换被吸附；与基板表面不进 象象：：与与基基板板表表面面原原子子进进行行能能量量交交换换被被吸吸附附；；与与基基板板表表面面不不进进 表面扩散 表面扩散 表表面面扩扩散散 行能量交换，入射到基板表面上立即被反射回去；就吸附后 行能量交换，入射到基板表面上立即被反射回去；就吸附后 行行能能量量交交换换，，入入射射到到基基板板表表面面上上立立即即被被反反射射回回去去；；就就吸吸附附后后 气相原子仍有较大的解吸能，在基板表面作短暂停留(或扩散) 气相原子仍有较大的解吸能，在基板表面作短暂停留(或扩散) 气气相相原原子子仍仍有有较较大大的的解解吸吸能能，，在在基基板板表表面面作作短短暂暂停停留留((或或扩扩散散)) 晶核形成与生长过程 晶核形成与生长过程 晶晶核核形形成成与与生生长长过过程程 后，再解吸蒸发(再蒸发或二次蒸发)； 后，再解吸蒸发(再蒸发或二次蒸发)； 后后，，再再解解吸吸蒸蒸发发((再再蒸蒸发发或或二二次次蒸蒸发发))；； 表面扩散 表面扩散 吸附原子的表面扩散运动是形成凝结的必要 � 表表面面扩扩散散 吸附原子的表面扩散运动是形成凝结的必要 吸吸附附原原子子的的表表面面扩扩散散