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半导体特性分析实验
PN
PN I-V
PN PN
PN I-V
4200-SCS
1PN
P N
PN PN
PN PN
PN
PN
PN
PN P
N PN
PN
IBO µA
PN
VFVF
0.3V 0.7V
PN
VZPN
VZPN
PN I-V
PN V I
PN 1
Vr Vr
1
2PN
PN -
⎛ eU ⎞
I I [exp⎜ ⎟−1 1
0 ⎜k T ⎟
⎝ B ⎠
I PN I0
U PN T kB e
( )
e / kBT ≈38 exp eU / kBT 11
⎛ eU ⎞
I I exp⎜ ⎟ 2
0 ⎜k T ⎟
⎝ B ⎠
PN e PN
T kB
2
eU
lnI lnI + 3
0
k T
B
U lnI e/k Tk
B B
1
( ) ( )
exp eU / 2kBT 2exp eU / mkBT m2
110
24200-SCS
3PN I-V
4SMU1”SMU2”
5
6I-V
7
kB
[1]
[2]
[3] PN I-V e/kB
11992.
1Keithley 4200SCS
(KeithleyInstruments,Inc.)
Keithley
,,MEMS
.
IV SMUPREAMP
SMU 4 SMU
100mA21V210V 10mA SMU 1A
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