二次离子质谱学的新进展.pdfVIP

第 21 卷 　第 2 期 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　　　　　　　　　　 ( ) 　　　　　　　　　　　　　　 2001 年 3 月 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLO GY CHINA 129 综述评论 二次离子质谱学的新进展 查良镇 　桂 　东 　朱怡峥 (清华大学电子工程系 　北京 　100084) Latest Progress in Secondary Ion Mass Spectroscopy Cha Liangzhen , Gui Dong ,Zhu Yizheng ( ) Depart ment of Elect ronic Engineering , Tsinghua U niversity , Beijin g , 100084 　　Abstract 　The development of secondary ion mass spectroscopy ( SIMS) is briefly reviewed. The discussion centers on the chal lenges and development trends of SIMS in the new century. Emphasis is attached to the applications in the frontier of microelectronics and optoelectronics as well as in the emerging fields including biomedicine ,geology and cosmos science ,nanotechnology and environ ment monitoring. The stateoftheart quantification and instrumentation are also introduced. Successful applications of SIMS in China are also discussed with specific examples. 　　Keywords 　Secondary ion mass spectroscop y ,Microelectronics ,Optoelectronics ,Progress 摘要 　简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和 　　 现状 。结合近 5 年来国内外的必威体育精装版进展 , 以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学 、地质和天体学科 、纳米科技和环境 监测等领域 ,讨论了其前沿在世纪之交对 SIMS 提出的挑战 ,介绍了定量分析和仪器的发展现状 。有重点地结合一些实例 ,包 括我国的一些实例展开了讨论 。 关键词 　二次离子质谱学 　微电子学 　光电子学 　进展 　　中图分类号 : TB 773 　　文献标识码 :A 　　文章编号 (2001) ( 　　二 次离子质谱 学 secondary ion mass spec 表论文数如表 1 所示 。 troscop y ,简称 SIMS) 的早期历史可以追溯到 20 世 　　1998 年 4 月上旬 ,在北京清华大学召开了国际 [1～3 ] [4 ]