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薄膜生长计算机模拟概论／文黎巍等 217
薄膜生长计算机模拟概论。
文黎巍，郭巧能，丁 俊，文书堂，杨仕娥
(郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室，郑州450052)
摘要 阐述了计算机模拟薄膜生长的重要意义，介绍了计算机模拟薄膜生长的主要步骤和方法，重点阐述了蒙
特卡罗和分子动力学方法的基本原理、关键问题及研究与应用进展，展望了薄膜生长计算机模拟的发展趋势。
关键词 薄膜计算机模拟蒙特卡罗分子动力学
Simulation ofThinFilmGrowth
Computer Conspectus
WEN Shie
Liwei，GUO Jun，WEN
Qiaoneng，DINGShutang，YANG
of of of of and
Material Education，Institute
(KeyLaboratory PhysicsMinistry Physics
450052)
Engineering，ZhengzhouUniversity，Zhengzhou
AbstractThe simulationinfilm is main
important of
significancecomputer growthemphasized．Thesteps
andmethodsof abouttheMonteCarloandmolecule their
computersimulation，especially dynamicsmethods，including
basic and arediscussedin the trend
techniques，researchprogressapplications detail．Finallydevelopment
principle，key
in is
of simulationfilm
computer growthprospected．
wordsthin
Key film，computersimulation，MonteCarlo，moleculardynamics
有效途径。就像Poincare说的那样，我们没有太多时间去看清
0 引言
世界万事万物的每一个方面，我们需要选择，需要抓住事物的主
薄膜材料在光学、电学、磁学、力学和热学等方面具有许多 要矛盾。选择、简化、假设、近似和模拟，是从事计算模拟工作者
特殊的性质，在现代材料特别是电子材料中占有日益重要的地 应遵循的基本思路，也是他们应具备的重要思想方法。
位。近年来，薄膜材料在各个领域的应
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