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使用表面加工被使用在制造方法中，因此这些集中部件中的多余部分被淘汰掉了。这些设计方法是被验证过的。小型机械得益于大量使用行星齿轮，行星减速齿轮被设计使用在小型单片发动机上的。理论上的传动比是要通过计算和比较以往传统的链式齿轮机构的。本文中出现的小型行星齿轮机构的传动比理论上可达到162∶1。从而占用了更少的空间。这种减速比的数值比先前单独对于减速齿轮系统的设计报告中的还要高。 关键词∶MEMS，行星齿轮，减速器，普通微型机构，SUMMi V工艺 名称∶ a 太阳轮 b 行星轮 c 内齿轮 (固定) d 内齿轮 (旋转) n 齿轮副数目 D 节圆直径 N 齿数 P 行星数 (? 角速度 序言∶ 微电子机械系统中的齿轮机构是通常希望在被约束在微小尺寸的系统里产生较大的转矩。然而，实际上在不具备多级减速器系统的情况下很难使微量级的系统具有这样高的转矩。 减速齿轮驱动的设计是基于行星变位齿轮机构能够在紧密的空间里增加转矩，因为小型行星齿轮系统具有每个单元体积有高的减速比的优势。然而，由于这种机构是非常复杂,所以使用相对少的尝试来使齿轮系统微型化。Suzumori等人行星齿轮系统去驱动一个管道机器人向前或者向后运动。他们运用了一个独立的马达去驱动具有高传动比的齿轮机构。精密齿轮加工是微细电火花线切割Takeuchi 等人微细电火花线切割理论，这种学说采用了表面微加工技术工艺表面微加工技术工艺在许多情况下因为它们的静电梳状驱动器通常只产生几十Rodgers等人提出了两个双级齿轮整体齿轮减速比12:1。因此，六个传输模块能有2985984:1比巨大空间表面微加工工艺技术作为紧凑型机械动力传输系统。 制造工艺和结构检测∶ SUMMiT V 工艺特点是提供了四层的结构性多晶硅层传统集成电路加工技术发动机能驱动行星齿轮机构，这正是使用SUMMiT V工艺的另一个原因。从SUMMiT V工艺成为著名的理论时,仅仅只有简短的解释。图2代表了图1的剖视图,并且也是有Auto CAD产生的模型。在剖视图中存在每个蚀刻的洞中不连续。.单晶片1(灰色)被用在中心(hubs),也用在仿制固定环轮，也就是，c， 太阳轮，a，旋转环齿轮也就是c和输出齿轮在第二层里。由于行星齿轮需要接触固定环和旋转环齿轮允许针对可能出现的误差，P（等式1）。等式2，表示传动比应该先遵循等式1。N是相应的齿轮的齿数。 Ns ??Nc (or Nd ) ??Multiple of P (1) 图3 减速比作为单位数的函数，从而比较两种不同齿轮的减速比。 齿轮a，b，c，d在行星轮系统中的模数是4(m，它是当前的减速单位的可比尺寸。， 这些齿数分别是12，29，69和72。Rodgers等人报告过一个12﹕1的减速单元使用了表面微机加工技术，它比行星齿轮系统的减速比的要少一个数量值。尽管，Rodgers等人的减速器需要使用大约0.093的空间，而行星齿轮系统仅仅使用大约0.076。 因此行星减速齿轮的设计能够使用少量空间而得到一个数量高的减速比。由于减速器模块是由许多减速单元组成的 ，行星齿轮的优势就很明显的展示在图3中。 图3展示了the comparison of reduction ratios between the proposed planetary gear mechanism即即，此外，行星系统能够在一个5单元的减速系统里节约8500的空间。 结论和议论∶ 在行星减速系统中用表面微机加工工艺，由单晶片发动机驱动，这是第一次出现在本文中的作者的知识。单独的减速器单位能够获得一个比以前的设计还要高量的减速比。然而，由于表面的摩擦和以及反弹Prof. Kris Pister，Prof. Arun Majumdar，Ms.Karen Cheung, and Mr. Elliot Hui [图三没有原资料不全。？？？？？？？？？？？？？？？？？？，翻译时参考了一些资料：微齿轮机构的技术发展需要下繁体字库,和上海交通大学学报000323。] Sandia ultra-planar multi-level mems technology On-chip micro-engine Chain gear mechanism 微机电系统 On-chio means It will be the first planetary gear mechanism using surfacemicromachining, to the authors knowledge. This is so called a 3K mechanical paradox planetary gear On-chip engine Since the Sandia process i