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　　　 　　　 　　　　　　　　 　　　　 　 ? 1 InTex. / InTex 1 台 ? 2 intermediate transports (input station/output station). /进料台、出料台各1个 ? 1 chiller. /冷却器1个 ? 1 electrical cabinet. /电器柜1个 ? 1 InOxSide. /InOxSide 1 台 ? 2 intermediate transports (input station/output station). /进料台、出料台各1个 ? 1 chiller. /冷却器1个 ? 1 electrical cabinet. /电器柜1个 补加更换溶液 5. 蚀刻槽以及储液罐 冲洗，按下“system rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。蚀刻槽以及储液罐将充满水和开始循环。程序可设定冲洗次数 6. 清洗完成之后，系统自动将水排掉，此时蚀刻槽以及储液罐的状态为 Empty（黄色）。 按下“system rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。蚀刻槽以及储液罐将充满水和开始循环 按下“system rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。蚀刻槽以及储液罐将充满水和开始循环 程序可设定冲洗参数 补加更换溶液 3.1.2 碱洗槽 （Alkaline bath） 1.选择菜单至“manual alkaline” 2..“mode man.”，点击此按钮选择手动模式。 3. 按下draining” 碱槽的化学品将被排掉 4.等待直到图表显示为“Empty”(黄色) 5.碱槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。碱槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗次数。 6.清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽内状态保持空的。 选择手动模式..“mode man.” 按下draining” 碱槽的化学品将被排掉 补加更换溶液 补加更换溶液 3.1.3 酸洗槽 Acidic bath 1. 选择菜单至“manual acidic” 2.按“mode man”选择手动模式manual mode 3.按“draining”排水 4.等待，直到图表显示“empty”(黄色) 5. 开始清洁酸洗槽。按下“rinsing 冲洗(屏幕的左边)。酸洗槽将充满水并开始循环。程序可设定冲洗次数。 6.完成之后，自动将水排掉，直到图表显示“empty”(黄色)。 补加更换溶液 补加更换溶液 程序可设定冲洗参数 程序可设定冲洗参数 补加更换溶液 3.2.1 更换HF/HNO 3 蚀刻槽的化学品（三步） 1. 选择菜单至manual etch bath” 2.按“mode man”选择手控模式manual mode 3.按“bath change” 更换HF/HNO 3（不建议使用） “bath change”功能：Bath 和Tank 将会排干化学品。之后，Bath 和Tank 将会充满水并开始清洗。清洗完成后水将自动被排干,接着化学品充填开始，填充的数量和比例由相应的程序（Recipe）决定。 补加更换溶液 “bath change”添加药液过程： 设备首先添加的是DI water，然后才是化学品。当新药液全部加入储液罐之后，蚀刻槽（Etch bath ）将被自动充满，循环泵开始工作将储液罐内药液送入蚀刻槽，当刻蚀槽体充满药液后，等待温度到达指定温度，蚀刻槽的指示灯将转换为绿色读值“ready” 以及“full chem.”。 进入Ｄrives 菜单 进入Ｄrives 菜单 点击All Conveyor,点击Stop 停止滚轮， 点F10 退回主界面 点击All Conveyor,点击Stop 停止滚轮， 点F10 退回主界面 点击Mode Auto 按钮，设备进入自动模式，黄色“Manual”转变成绿色“Auto” 黄色“Manual”转变成绿色“Auto” 操 作 系 统 等待碱槽和酸槽温度显示稳定，下方显示为绿色“Full chemie”和绿色“Ready”。随后点击“start”按钮各模块自动运行． 界面显示各模块均