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原子力显微镜AFM的优缺点 相对于扫描电子显微镜,原子力显微镜具有许多优点。不同于电子显微镜只能提供二维图像,AFM提供真正的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳,这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三,电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子,甚至活的生物组织。 和扫描电子显微镜(SEM)相比,AFM的缺点在于成像范围太小,速度慢,受探头的影响太大。 SPM 探头由以下主要部分构成: 探针架:用于夹持固定探针,有两种探针架:STM探针架和AFM探针架,分别用于夹持固定STM探针和AFM探针,并使系统实现STM和AFM功能。 激光器(Laser):用于激光检测原子力显微镜(Laser-AFM)的各种扫描模式中。SPM探头上的位于右边的两个旋钮分别调节激光器的水平(X)和垂直(Y)的位置。 光斑位置探测器(PSD):用于激光检测原子力显微镜(Laser-AFM)的各种扫描模式中。是一个四象限的的光强计,每个象限均可独立的探测落在上面的光强,从而实现光斑位置的检测。SPM 探头上的位于左边的两个旋钮分别调节PSD 的水平(X)和垂直(Y)的位置。 根据不同的操作模式,PSD 可以提供不同的信息: SUM:落在光斑位置探测器的四象限上的总光强。 Up-Down:光斑位置探测器的上下两部分的光强差。这个信号反映了探针上下偏转的形变量,直接用于AFM 的接触模式;或经过转换后,用于AFM 的轻敲模式。 Left-Right:光斑位置探测器的左右两部分的光强差。这个信号反映了探针左右扭转的形变量,用于摩擦力显微镜。 扫描探针的电镜图像 减震装置 系统配备的探头声、光、电、磁屏蔽减震箱具有较好的抗干扰效能,但是,为使系统达到最佳状态,尤其是用户的具体应用领域对分辨率要求较高时,应将探头置于减震装置上。减震装置一般可采用光学气垫平台或弹簧减震架。 测量步骤 安装原子力显微镜(AFM)探针 选择 AFM 探针架; 准备好将要使用的原子力微悬臂探针; 把 AFM探针架正面向上放置,用一手的拇指和食指小心捏住微悬臂探针压紧弹片两边,轻轻往上提起,使其与探针支架的定位块分离,另一手用镊子夹住微悬臂探针的玻璃基片两侧,小心放在探针支架的定位块上,小心放开压紧弹片,即将微悬臂夹在探针支架上(如下图); 探针安装的位置以玻璃体突出 1~2 毫米为佳; 安装探针架 将安装好探针的探针架反面向上,捏住探针架的把手,沿SPM 探头向前方向,顺着滑槽插入探针架,直到最里面,可听到轻轻的“喀”的声音。 AFM 接触模式简易操作步骤 1. 进入 SPM Console 软件; 2. 放入适当扫描范围的扫描器; 3. 将接触模式的探针装入 AFM 探针架中,并将探针架插入探头内; 4. 放入样品; 5. 打开控制机箱电源,选择“接触”模式,并打开激光; 8. 设置参考点,一般 0.2~0.5 即可; 9. 自动进针至 Z 电压160V,单步前进或后退到Z 电压为0V 左右(-20V~20V); 14.根据示波器上的信号选择低通滤波的水平; 15.打开探针起伏窗口(信号为探针的形变量,反映了探针-样品之间的作用力)和摩擦窗口(信号为横向力),参考形貌窗口的方法,调节所得的扫描信号; 16.扫描结束后,保存在缓冲区中; 17.退针。 1.2Pa-300K-SI000 1.2Pa-400C-SI000 粗糙度分析报告 图像尺寸:1000.00nm X 1000.00nm Root Mean Square :11.7 [nm] 粗糙度分析报告 图像尺寸:1000.00nm X 1000.00nm Root Mean Square :10.7 [nm] 0.4Pa-300K-SI000 1.2Pa-300K-SI000 粗糙度分析报告 图像尺寸:1000.00nm X 1000.00nm Root Mean Square :12.8 [nm] 粗糙度分析报告 图像尺寸:1000.00nm X 1000.00nm Root Mean Square :11.7 [nm] 0.4Pa-400°C-SI000 1.2Pa-400°C-SI000 粗糙度分析报告 图像尺寸:1000.00nm X 1000.00nm Root Mean Square :10.6 [nm] 粗糙度分析报告 图像尺寸:1000.00nm X 1000.00nm Root Mean Square :10.7 [nm] 6. 调节激光器的位置,使激光落在探针的针尖的背面; 7. 通过软件中光斑窗口,调节探测器的位置,使光斑落在中间的圆圈中; 10.开始扫描; 11.打开形
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