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MEMS惯性传感器优势解析:THELMA制程和低成本封装方法.PDF

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MEMS惯性传感器优势解析:THELMA制程和低成本封装方法

MEMSTHELMA Benedetto Vigna MEMSMEMS () () MEMS [1] MEMS MEMS WiiiPhoneiTouch[2] Wii“”(1a) iPhone MEMS (1b) (a) (b) 1: :iSuppli MEMS (THELMA)2 [3]THELMAMEMS THELMA MEMS 2.5µm(2a) LPCVD(1) (2b) PECVD 1.6µmPEVCD2.5µm 4.1µmTHELMAPECVD ( 2c) (2d) 15µm50µm (2e)(DRIE) (2f)DRIE (2f) MEMS (LGA) 3 (4) MEMS(5) 6 2:THELMA 3::() () 4:MEMS 5:MEMS SEM 6: [1] B. Vigna, “MEMS Epiphany,” MEMS 2009 Conference, Sorrento Italy, January 26, 2009. [2] Source, iSuppli Corporation, See: [3] B. De Masi and S. Zerbini, “Process builds more sensitive structures,” EE Times, November 22, 2004.

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