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MEMS惯性传感器优势解析:THELMA制程和低成本封装方法
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6:
[1] B. Vigna, “MEMS Epiphany,” MEMS 2009 Conference, Sorrento Italy,
January
26, 2009.
[2] Source, iSuppli Corporation, See:
[3] B. De Masi and S. Zerbini, “Process builds more sensitive structures,”
EE Times,
November 22, 2004.
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